Штайн фон Камінскі Елард
Спосіб виготовлення енергонезалежної напівпровідникової запам’ятовуючої комірки з окремим тунельним вікном
Номер патенту: 73508
Опубліковано: 15.08.2005
Автори: Лудвіг Хрістоф, Вольф Конрад, Хайтцш Олаф, Рьоріх Майк, Вавер Петер, Куттер Хрістоф, Реннекамп Райнхольд, Штайн фон Камінскі Елард, Хуккельс Кай, Шпрінгманн Олівер
МПК: H01L 29/788, H01L 21/336
Мітки: виготовлення, спосіб, напівпровідникової, запам'ятовуючої, енергонезалежної, комірки, тунельним, окремим, вікном
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення енергонезалежної напівпровідникової запам'ятовуючої комірки з окремим тунельним вікном, що включає технологічні операції виготовлення комірки тунельного вікна (TF) шляхом формування тунельної області (TG), тунельного шару (4), запам'ятовуючого шару (Т5) тунельного вікна, діелектричного шару (Т6) тунельного вікна і шару (Т7) керуючого електрода тунельного вікна, і транзисторної запам'ятовуючої комірки (TZ) шляхом...