Куттер Хрістоф
Спосіб виготовлення енергонезалежної напівпровідникової запам’ятовуючої комірки з окремим тунельним вікном
Номер патенту: 73508
Опубліковано: 15.08.2005
Автори: Хайтцш Олаф, Реннекамп Райнхольд, Куттер Хрістоф, Хуккельс Кай, Рьоріх Майк, Шпрінгманн Олівер, Вавер Петер, Лудвіг Хрістоф, Вольф Конрад, Штайн фон Камінскі Елард
МПК: H01L 29/788, H01L 21/336
Мітки: окремим, спосіб, вікном, енергонезалежної, комірки, тунельним, напівпровідникової, виготовлення, запам'ятовуючої
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення енергонезалежної напівпровідникової запам'ятовуючої комірки з окремим тунельним вікном, що включає технологічні операції виготовлення комірки тунельного вікна (TF) шляхом формування тунельної області (TG), тунельного шару (4), запам'ятовуючого шару (Т5) тунельного вікна, діелектричного шару (Т6) тунельного вікна і шару (Т7) керуючого електрода тунельного вікна, і транзисторної запам'ятовуючої комірки (TZ) шляхом...