Лудвіг Хрістоф
Спосіб виготовлення енергонезалежної напівпровідникової запам’ятовуючої комірки з окремим тунельним вікном
Номер патенту: 73508
Опубліковано: 15.08.2005
Автори: Рьоріх Майк, Реннекамп Райнхольд, Лудвіг Хрістоф, Куттер Хрістоф, Вольф Конрад, Штайн фон Камінскі Елард, Вавер Петер, Шпрінгманн Олівер, Хайтцш Олаф, Хуккельс Кай
МПК: H01L 29/788, H01L 21/336
Мітки: тунельним, запам'ятовуючої, спосіб, енергонезалежної, напівпровідникової, виготовлення, вікном, комірки, окремим
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення енергонезалежної напівпровідникової запам'ятовуючої комірки з окремим тунельним вікном, що включає технологічні операції виготовлення комірки тунельного вікна (TF) шляхом формування тунельної області (TG), тунельного шару (4), запам'ятовуючого шару (Т5) тунельного вікна, діелектричного шару (Т6) тунельного вікна і шару (Т7) керуючого електрода тунельного вікна, і транзисторної запам'ятовуючої комірки (TZ) шляхом...