Рьоріх Майк
Спосіб виготовлення енергонезалежної напівпровідникової запам’ятовуючої комірки з окремим тунельним вікном
Номер патенту: 73508
Опубліковано: 15.08.2005
Автори: Вавер Петер, Лудвіг Хрістоф, Реннекамп Райнхольд, Хайтцш Олаф, Шпрінгманн Олівер, Куттер Хрістоф, Хуккельс Кай, Рьоріх Майк, Штайн фон Камінскі Елард, Вольф Конрад
МПК: H01L 21/336, H01L 29/788
Мітки: спосіб, виготовлення, окремим, напівпровідникової, вікном, тунельним, запам'ятовуючої, комірки, енергонезалежної
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення енергонезалежної напівпровідникової запам'ятовуючої комірки з окремим тунельним вікном, що включає технологічні операції виготовлення комірки тунельного вікна (TF) шляхом формування тунельної області (TG), тунельного шару (4), запам'ятовуючого шару (Т5) тунельного вікна, діелектричного шару (Т6) тунельного вікна і шару (Т7) керуючого електрода тунельного вікна, і транзисторної запам'ятовуючої комірки (TZ) шляхом...