Ковалюк Тарас Тарасович
Спосіб одержання тонкої плівки
Номер патенту: 116079
Опубліковано: 10.05.2017
Автори: Мар'янчук Павло Дмитрович, Майструк Едуард Васильович, Мостовий Андрій Ігорович, Ковалюк Тарас Тарасович, Солован Михайло Миколайович
МПК: C23C 14/00, H01L 33/00
Мітки: тонкої, одержання, плівки, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб одержання тонкої плівки Cu2ZnSnSe4, який включає нанесення на підкладку плівки за допомогою магнетронного напилення з мішеней Zn, Sn, Сu та подальшого відпалу протягом 15 хвилин в парах селену, який відрізняється тим, що для нанесення плівки за допомогою реактивного магнетронного напилення при постійній напрузі використовують мішень Cu2ZnSn стехіометричного складу, а процес селенізації проводять при 450 °C.
Спосіб одержання тонких плівок cu2znsns4 (czts)
Номер патенту: 103918
Опубліковано: 12.01.2016
Автори: Солован Михайло Миколайович, Мостовий Андрій Ігорович, Козярський Іван Петрович, Майструк Едуард Васильович, Козярський Дмитро Петрович, Мар'янчук Павло Дмитрович, Брус Віктор Васильович, Ковалюк Тарас Тарасович
МПК: H01L 33/00, C23C 14/35
Мітки: плівок, тонких, czts, cu2znsns4, одержання, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб одержання тонких плівок Cu2ZnSnS4, що включає напилення на підкладки з металевих мішеней (Zn, Sn, Сu) та подальшу сульфатацію шляхом відпалу протягом 5 хвилин в парах сірки, який відрізняється тим, що як мішені використовують сплав Cu2ZnSn (99,99 %) стехіометричного складу для подальшого нанесення плівки, яку піддають процесу сульфатації шляхом відпалу при 450±5 °C в парах сірки.