Лабунов Володимир Архипович
Спосіб виготовлення металізації напівпровідникових приладів та інтегральних мікросхем
Номер патенту: 11373
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Баранов Ігор Ліверійович, Гуменюк Степан Дмитрович, Ілюк Ігор Євгенович, Лазарук Сергій Костянтинович, Казінов Володимир Олександрович, Лабунов Володимир Архипович, Бідник Дмитро Ілліч
МПК: H01L 21/28
Мітки: приладів, напівпровідникових, виготовлення, мікросхем, інтегральних, спосіб, металізації
Формула / Реферат:
Способ изготовления металлизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, включающий осаждение на полупроводниковую пластину пленки алюминия, нанесение слоя фоторезиста и формирование в нем конфигурации дорожек межсоединений шириной до 4·10-5 м и контактных площадок, создание разделительного окисла пористым анодным окислением слоя алюминия, формирование пассивирующего окисла, удаление фоторезиста с контактных площадок,...