Мельник Павло Вікентієвич
Спосіб виготовлення фотолюмінесцентної кремнієвої нанокластерної структури
Номер патенту: 39868
Опубліковано: 10.03.2009
Автори: Романюк Борис Миколайович, Мельник Віктор Павлович, Попов Валентин Георгійович, Хацевич Ігор Мирославович, Мельник Павло Вікентієвич
МПК: H01L 29/00, H01L 21/00
Мітки: виготовлення, кремнієвої, нанокластерної, спосіб, фотолюмінесцентної, структури
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення фотолюмінесцентної кремнієвої нанокластерної структури, який включає напилення на Si підкладку, методом термічного розпилення мішені, плівки SiOx (x=1,4-1,6), формуючий нанокластерну структуру відпал в атмосфері Аr та низькотемпературний відпал в атмосфері, що містить азот, який відрізняється тим, що спочатку проводять формуючий нанокластерну структуру відпал в атмосфері аргону при температурі 1050-1200 °С впродовж...