Патенти з міткою «нанокластерної»

Номер патенту: 39868

Опубліковано: 10.03.2009

Автори: Хацевич Ігор Мирославович, Романюк Борис Миколайович, Мельник Віктор Павлович, Мельник Павло Вікентієвич, Попов Валентин Георгійович

МПК: H01L 21/00, H01L 29/00

Мітки: нанокластерної, фотолюмінесцентної, виготовлення, структури, спосіб, кремнієвої

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення фотолюмінесцентної кремнієвої нанокластерної структури, який включає напилення на Si підкладку, методом термічного розпилення мішені, плівки SiOx (x=1,4-1,6), формуючий нанокластерну структуру відпал в атмосфері Аr та низькотемпературний відпал в атмосфері, що містить азот, який відрізняється тим, що спочатку проводять формуючий нанокластерну структуру відпал в атмосфері аргону при температурі 1050-1200 °С впродовж...

Номер патенту: 85477

Опубліковано: 26.01.2009

Автори: Хацевич Ігор Мирославович, Мельник Віктор Павлович, Попов Валентин Георгійович, Гамов Дмитро Вікторович, Оберемок Олександр Степанович, Романюк Борис Миколайович

МПК: H01L 29/00, H01L 21/00

Мітки: структури, виготовлення, нанокластерної, кремнієвої, спосіб, фотолюмінесцентної

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення фотолюмінесцентної кремнієвої нанокластерної структури, який включає нанесення на Si підкладку методом плазмохімічного осадження з газової фази плівки SiOx із показником заломлення n від 1,5 до 1,78 та відпал отриманої структури в атмосфері інертного газу, який відрізняється тим, що перед відпалом в плівку SiOx методом іонної імплантації вводять іони Аl+, дози яких складають від 0,4х1016 до 1,15х1016 іонів/см2, а відпал...