Прокіпчин Василь Васильович
Спосіб формування металізації для високострумових біполярних інтегральних схем
Номер патенту: 3900
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Бірковий Юрій Леонідович, Маскович Степан Михайлович, Новосядлий Степан Петрович, Гуменяк Михайло Васильович, Прокіпчин Василь Васильович
МПК: H01L 21/28
Мітки: біполярних, високострумових, спосіб, схем, інтегральних, формування, металізації
Формула / Реферат:
1. Способ формирования металлизации для сильнотоковых биполярных интегральных схем, включающий двухстадийное магнетронное распыление мишени в плазме аргона и смеси аргона и (1-10% вес) моносилана, фотолитографию для создания разводки и контактов, отличающийся тем, что распыление составной мишени, содержащей в массиве основного металла штыри из тугоплавкого или редкоземельного металла, для нанесения нижнего слоя проводят в плазме аргона, а...