Спосіб вимірювання тиску леткого компоненту в ростовій ампулі

Спосіб вимірювання тиску леткого компоненту в ростовій скляній ампулі при вирощуванні монокристалів методом Бріджмена, що включає завантаження ампули наважкою, розміщення ампули в 3 В корисній моделі запропоновано рішення принципово нове для способів вимірювання тиску компонентів в ростовій ампулі під час вирощування, яке полягає у вимірюванні поздовжньої деформації ампули за спеціальною програмою. Зовнішній тиск інертного газу дорівнюватиме і визначенні внутрішньому тиску в ампулі в точці екстремуму на залежності зміни поздовжнього розміру ампули від зміни зовнішнього тиску інертного газу (3). Такі ознаки не зустрічаються ні в одному з аналогів. Промислове використання запропонованої корисної моделі не вимагає спеціальних технологій і матеріалів, її реалізація можлива на існуючих підприємствах електронного приладобудування. Послідовність виконання запропонованого процесу вимірювання тиску в ростовій ампулі при вирощуванні монокристалів методом Бріджмена наступна. Синтезований CdTe і 5-15г кадмію поміщали в кварцову ампулу, відкачували, запаювали і поміщали її в піч, яка знаходилася в герметичній камері. Камеру евакуумували і заповнювали, наприклад, аргоном до тиску ~0.3атм. Після етапу нагрівання печі до температури ~1100 °C, її витримували декілька годин в такому стані для врівноважування всіх процесів в системі. Далі змінювали ступінчасто тиск аргону за відповідною програмою до ~2.5атм. (1). При кожному значенні тиску інертного газу після встановлення рівноваги вимірювали за допомогою датчика переміщення величину зміни аксіального розміру ампули (2) і визначали приріст видовження ампули. Будували графік залежності приросту видовження ампули Комп’ютерна верстка Н. Лисенко 66476 4 від величини заданого зовнішнього тиску (3). Тиск у ампулі визначали за положенням екстремума (50 відн. од.). Загальний тиск над розплавом повинен був бути 1.45атм. [2], наші виміри дали результат 1.3атм. Після завершення виміру тиску пари Кадмію проводили процес вирощування монокристалів CdTe. Приклад конкретного виконання. Описана методика була використана для контролю тиску пари Кадмію при вирощуванні монокристалів CdTe методом Бріджмена. Розраховані наважки Кадмію і телуру поміщали у кварцову ампулу, відкачували і запаювали її. Далі піч поступово нагрівали до температури 1110 °C для проведення синтезу CdTe. Після завершення синтезу ампули витримували декілька годин для врівноважування всіх процесів в системі і починали процес вимірювання тиску за вище приведеною програмою. Загальний тиск над розплавом повинен був бути 1.45атм. [2], наші виміри дали результат 1.3атм. Після завершення виміру тиску пари Кадмію проводили процес вирощування монокристалів CdTe. Джерела інформації: [1] A. Zappettini, F. Bissoli, L. Zanotti, M. Zha, C. Broglia, С Paorici. "Stoichiometric deviations and partial-pressure measurements in solid-vapour cadmium telluride system", Materials Chemistry and Physics, Vol. 66.-2000. - pp.138-142. [2] J. H. Greenberg. "P-T-X phase equilibrium and vapor pressure scanning of non-stoichiometry in the Cd-Zn-Te system". Progress in Crystal Growth and Characterization of Materials. - vol. 47.-2003. pp.196-238. Підписне Тираж 23 прим. Державна служба інтелектуальної власності України, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601