Процес нанесення тонких плівок на основі оксиду цинку

Номер патенту: 23796

Опубліковано: 11.06.2007

Автори: Клето Геннадій Іванович, Савчук Андрій Йосипович, Ткачук Вікторія Іллівна

МПК: H01L 21/316

Мітки: оксиду, плівок, нанесення, основі, цинку, тонких, процес

Формула / Реферат:

Процес нанесення тонких плівок на основі оксиду цинку, що включає виготовлення мішені шляхом змішування порошку оксиду цинку з легуючими компонентами, зволоження, формування та відпалювання мішені з наступним розпиленням її за допомогою іонно-плазмового методу, який відрізняється тим, що при виготовленні мішені до складу суміші вводять галогенну сполуку (хлорид, фторид) елемента(ів) з атомним(и) номером(ами) 3, 13, 25, 26, 27, 28, 29, 30 в...

Номер патенту: 6698

Опубліковано: 16.05.2005

Автор: Клето Геннадій Іванович

МПК: H01L 21/316

Мітки: скла, процес, нанесення, тонких, плівок, телуридного

Формула / Реферат:

Процес нанесення тонких плівок телуридного скла ВЧ-катодним розпиленням, що передбачає виготовлення мішені шляхом подрібнення та змішування компонентів, формування і відпал, який відрізняється тим, що порошок телуру змішують з порошком іншого (-их) компонента (-ів) в пропорції не менше 70 ат.% Те і розміщують на поверхні пластини з монокристалічного кремнію шаром завтовшки 1-2 мм, а ВЧ-катодне розпилення проводять в окисному середовищі в...

Номер патенту: 43952

Опубліковано: 15.01.2004

Автори: Трапезнікова Людмила Віталіївна, Блецкан Олександр Дмитрович, Блецкан Дмитро Іванович, Тюпа Олександр Іванович

МПК: C01F 7/02, C23C 4/10, C30B 29/20

Мітки: плівок, одержання, матеріал, оксиду, алюмінію, тонких

Формула / Реферат:

Застосування монодисперсного порошку сапфіру α-Al2O3 з розміром частинок 2 – 4 мкм як матеріалу для одержання тонких плівок оксиду алюмінію.

Номер патенту: 85956

Опубліковано: 10.03.2009

Автори: Федоренко Ольга Олександрівна, Коваленко Назар Олегович, Загоруйко Юрій Анатолійович, Матейченко Павло Вікторович

МПК: G02B 1/10

Мітки: отримання, плівок, цинку, спосіб, оксиду

Формула / Реферат:

Спосіб отримання плівок оксиду цинку, який включає відпал заготовок з селеніду цинку у повітряній атмосфері при одночасному опромінюванні поверхні заготовки селеніду цинку ультрафіолетовим випромінюванням з довжиною хвилі 0,24-0,40 мкм і густиною випромінювання на поверхні заготовки від 0,05 до 1,0 Вт/см2 та охолодження до кімнатної температури, який відрізняється тим, що до поверхні заготовки додатково прикладають постійне електричне поле,...

Номер патенту: 12650

Опубліковано: 28.02.1997

Автори: Джон Т. Фелтс, Юджін С. Лопата

МПК: C23C 14/32

Мітки: основі, спосіб, оксиду, плівок, нанесення, кремнію

Формула / Реферат:

(57)  1. Способ нанесения пленок на основе оксида кремния, включающий напуск в предварительно вакуумированный рабочий объем регулируемого газового потока, содержащего летучее кремнийорганическое соединение и кислород, возбуждение и удержание плазмы тлеющего разряда вблизи поверхности конденсации, отличающийся тем, что в газовый поток дополнительно вводят инертный газ при соотношении расходов потоков кремнийорганического соединения и...