Спосіб визначення показника загасання світла в плівці плоскопаралельної одноплівкової структури

Спосіб визначення показника загасання світла в плівці плоскопаралельної одноплівкової структури, згідно з яким вибирають інтервал довжин хвиль при нормальному падінні світла на поверхню структури, який відрізняється тим, що вимірюють залежність коефіцієнта відбивання світла від довжини світлової хвилі та визначають значення коефіцієнта відбивання в максимумі смуги інтерференції по обвідній максимумів при двох довільних значеннях довжини хвилі Rmax (l 1) і Rmax (l 2 ) , а значення коефіцієнта відбивання в мінімумі смуги інтерференції визначають по обвідній мінімумів при цих самих значеннях довжини хвилі Rmin (l1 ) і Rmin (l 2 ) , і показник загасання визначають за формулою Корисна модель відноситься до оптики, зокрема до способів визначення параметрів діелектричних плівок. Відомий спосіб визначення показника загасання світла в плівці плоскопаралельної одноплівкової стр уктури, згідно якого вибирають інтервал довжин хвиль при нормальному падінні світла на поверхню структури [Б.Б. Мешков, П.П. Яковлев. Определение параметров поглощающих пленок. Опт. журн., 70, №10 (2003) 88-90]. Однак, для цього необхідно використовувати як мінімум два зразки і вимірювати коефіцієнт пропускання при двох кутах падіння світла в s- і р-поляризації. Відомий інший спосіб визначення показника загасання світла в плівці плоскопаралельної одноплівкової структури , згідно якого вибирають інтервал довжин хвиль при нормальному падінні світла на поверхню структури [J.E. Nestell, R.W. Christy. Derivation of optical constants of metals from thin-film measurements at oblique incidens. Appl. Opt, 11, №3 (1972) 643-651]. Однак і цей спосіб також вимагає проведення різних вимірювань коефіцієнта пропу скання в p-поляризації і не дозволяє визначити показник загасання з високою точністю. В основу корисної моделі поставлене завдання створення способу визначення показника загасання світла в плівці плоскопаралельної одноплівкової структури, який за рахунок нових дій дозволив би однозначно і з високою точністю визначити цей показник загасання. Поставлене завдання вирішується тим, що в способі визначення показника загасання світла в плівці плоскопаралельної одноплівкової структури, згідно якого вибирають інтервал довжин хвиль при нормальному падінні світла на поверхню структури, згідно корисної моделі, вимірюють залежність коефіцієнта відбивання світла від довжини світлової хвилі та визначають значення коефіцієнта відбивання в максимумі смуги інтерференції по обвідній максимумів при двох довільних значеннях довжини хвилі Rmax (l 1) і Rmax (l 2 ) , а значення коефіцієнта відбивання в мінімумі смуги інтерференції визначають по обвідній мінімумів при цих самих значеннях довжини хвилі Rmin (l1 ) і c= æ R Rmax (l 2 ) + Rmin (l2 ) ö l 2l1 max (l1 ) - R min (l1 ) ÷ 1nç × 4 pd(l 2 - l1) ç R max (l1 ) + R min (l1 ) R max (l 2 ) - Rmin (l2 ) ÷ è ø, де l 1 і l 2 , - два довільні значення довжини хвилі, при яких проводились вимірювання коефіцієнта відбивання світла від плоскопаралельної одноплівкової структури; d - товщина плівки; Rmax (l 1) і Rmax (l 2 ) - значення обвідної максимумів при дов жинах хвиль l 1 і l 2 ; Rmin (l1 ) і Rmin (l 2 ) - значен (19) UA (11) 26018 (13) U ня обвідної мінімумів при довжинах хвиль l 1 і l 2 . 3 26018 Rmin (l 2 ) і показник загасання визначають за формулою c= æ R R max (l 2 ) + R min(l2 ) ö , l2l1 max (l1 ) - R min(l1 ) ÷ 1ç n × 4pd(l2 - l1) ç Rmax (l1) + R min(l1 ) Rmax (l 2 ) - R min(l2 ) ÷ è ø де l 1 і l 2 - два довільні значення довжини хвилі, при яких проводились вимірювання коефіцієнта відбивання світла від плоскопаралельної одноплівкової структури; d - товщина плівки; Rmax (l 1) і Rmax (l 2 ) значення обвідної максимумів при довжинах хвиль l 1 і l 2 ; Rmin (l1 ) і Rmin (l 2 ) значення обвідної мінімумів при довжинах хвиль l1 і l2 . Визначення значень коефіцієнта відбивання в максимумі смуги інтерференції при двох довільних значеннях довжини падаючої світлової хвилі по обвідній максимумів, а також значень коефіцієнта відбивання в мінімумі смуги інтерференції при цих самих значеннях довжини хвилі по обвідній мінімумів дозволяє однозначно і з високою точністю визначити показник загасання. Значення обвідної максимумів 2 æ s +Q ö ÷ , а значення обвідної = ç 12 Rmax ç ÷ è 1+ s12Q ø 2 æ s -Q ö Rmin = ç 12 де ç 1- s Q ÷ , ÷ 12 ø è ~ ~ 4 pd = s 23 exp Im d , d Q = (n - ic) - комплексна фаl зова товщина шару, n і c - показники заломлення і загасання плівки, s12, 23 - модулі френелівських мінімумів ( ) коефіцієнтів відбивання від меж розділу 1-2 (зовнішнє середовище - плівка) і 2-3 (плівка - підкладка). Тоді, ввівши функцію ( ) 2 Rmax (l ) - Rmin (l ) 1 - s12 = Rmax (l ) + Rmin (l ) s12 1- Q2 вши, що = WR ( ) і врахува Q2