Спосіб виготовлення мікронних прецизійних діафрагм

-, СПОСІБ ВИГОТОВЛЕННЯ МІКРОННИХ ПРЕЦИЗІЙНИХ ДІАФРАГМ Запропонований винахід відноситься до точного приладобудування і може б\ти використаний для формування потоків електромагнітного випромінювання і корпускулярних частинок з перетином малого діаметру (5-25 мікрон), а також для прецизійного регулювання натікання г а з і в і їх с\мшіси при макеспектрометричннх дослідженнях та в реактивних мікродвнг\ нлх ІІІ Л.Є МП І; С МчК М-ХЛіа фраї М І ІО ЛЯКи ії ХІ МІ ЧІЮМ} ІЇ Пф . *іІ ; ЛЄПП І О ї і : . ) р і і ; \ фолі, її (лив Кп "Техника Vieiapofinon микроскопии" М.: Мир, 1965). Відомий спосіб не лас можливості виконати в коргпсі діафрагми о і в і р І перінкалмніми смиками (канал постійного перетину) діаметром 5-25 мікрон, так як хімічне травлення приводить до утворення конусоподібної форми о г пору в тілі матеріал), що травиться. Нам ме-шломі способи виготовлення прецизійних діафрагм заданих малих VR F3 основ\ в миаход\ постав лена задача ви готовл ення ліафраіми І \творенням в H I M отворів і постійним перетином 5-25 мікрон Поставлена задача досягається тим, що запропонований спосіб включає хімічне стоншення металевого дроту діаметром 30-50 мікрон до необхідного діаметру, утворення на хімічно стоншеному дроті захисного покриття шляхом електрохімічного нарощення шару металу заданої товщини,Формування корпусу діафрагми шляхом електрохімічного нарощування на поверхні захисного покриття шару іншого металу заданої товщини ' та хімічне витравлення металу дроту для отримання отворів . Па ср\Г зображена схема прецизійної діафрагми, ле І дрп, 2 захисний шар, 3 - корпус діафрагми. Запропонований спосіб здійснюється таким чином береться алюмінієвий дріт діаметром 50 мкм, закріплюється в тефлонових затискачах і розмішається в травникові такого складу 2% соляної кислоти, 49% азотної кислоти. 49% метилового спирту Процес хімічного травлення і полірування ло потрібного ліамеїтп контролюсться ошичним мікроскопом Після досягнення необхідної тішити г іроіу іравнпк розбавляється великим обсягом дистильованої поли і - 1 с? зменшення концентрації травника 0,01%. Далі дріт розміщується в хімічному розчині ціоністого золочення такого складу: металічне золото 15 г/л, цеоніт калію 60 г/л, карбонат калію 40 г/л, срібло 0,2 г/л. Після цього формується корпус діафрагми нарощуванням шару міді в електроліті: борфторводнева мідь- 230 г/л, металічна мідь -70 г/л, борфтористоводнева кислота -15 г/л, борна кислота (НЗВОЗ) - 20 г/л. Температура розчину: 20-50оС, напруга 3~! 2 В, густина струму 7-12 А/дм2. Промитий в дюнізованій воді зразок розміщується в кварцову ампулу і нагрівається в муфельній печі до 400°С. Ізотермічний відпал проходить на протязі 3-х годин, після чого охолоджується в виключеній печі на протязі 24 годин. Зразок розрізається алмазним різаком на маленькі диски які шліфуються і поліруються. Поліровані зразки розміщують в 9%-ному розчині NaOH, в якому витравлюється алюмінієвий дріт. Внаслідок цього способу отримуємо діафрагми потрібної товщини із отворами заданого діаметру. Спосіб дозволяє формувати діафрагми розміром 5-25 мікрон з каналами постійного перетину із захисним покриттям. Спосіб може використовуватись для виготовлення діафрагм, що працюють при масспектрометричному аналізі газів, газових сумішей і агресивних середовищ, а також при рентгенолітографії та формуванні потоків корпускулярного випромінювання. 3 Спосіб виготовлення мікронних прецезїйиих діафрагм г Автори: Гнап А.К Коваленко М И.