Пристрій для двостороннього нанесення покриттів у вакуумі

Пристрій для двостороннього нанесення покриттів у вакуумі, що містить випарник, закріплений жорстко до двох штанг, одна з яких з'єднана з корпусом, а друга - з джерелом напруги, нагрівник зразка з нагрівним елементом та термопарою, жорстко закріплений до штанги, з'єднаної з корпусом, рухому захисну заслінку, розміщену між ви 3 47597 4 Найближчим за технічною сутністю до запробули відкритими для напилення, а контроль темпонованого пристрою - прототипом, є пристрій для ператури здійснюється термопарою, яка розташонанесення покриттів у вакуумі [Пост вакуумный вана у безпосередній близькості до зразка. универсальный ВУП-5. Техническое описание и Фіг. 1 - схема розміщення пристрою у робочоинструкция по эксплуатации 2.950.122 ТО.] до му об'ємі, вид спереду; складу якого входять випарник з захисною заслонФіг. 2 - вид зверху; кою та нагрівник. Випарник, закріплений жорстко Фіг. 3 - нагрівник, вид зверху; до двох штанг, одна з них з'єднана з корпусом, а Фіг.4 - переріз А- А; до іншої підведено напругу розжарення. Захисна Фіг.5 - переріз Б-Б. рухома заслінка, яка розміщується між випарником Пристрій змонтований у робочому об'ємі, та нагрівником, жорстко закріплена до шестерні, створеному ковпаком 1 та основою 2 (фіг. 1, 2). викопаної у вигляді півкільця, приводиться у рух за Нагрівник 3 із закріпленим па ньому зразком 4 (надопомогою виведеної через сальникове ущільненприклад, германієм прямокутної форми) встановня ручки. Нагрівник жорстко закріплений до штанлено за допомогою штатива 5 між двома випарниги, яка з'єднана з корпусом. До нагрівника з однієї ками 6, 7 так, що між ними можуть проходити сторони підведений нагрівний елемент та термозаслонки 8, 9. Заслонки за допомогою штатива 10 пара, а до протилежної закріплений зразок. Нанеприкріплені до рухомого півкільця 11, яке привосення покриттів проводиться у вакуумі за допомодиться у рух ручкою 12 за допомогою шестерні 13. гою випарника. При досягненні необхідного На фіг. 1 заслонки показані у закритому, а па фіг. 2 режиму випаровування, па час нанесення плівки, - у відкритому положенні. Електроживлення випамеханічно відкривається заслінка. рників здійснюється через ізольовані вводи 14, 15. Недоліком даного пристрою є те, що для наКонструкція нагрівника 3 подана па фіг. 3 - 5. У несення покриті, па інші сторони зразка необхідна прямокутній пластині з нержавіючої сталі 16 вифрозгерметизація робочого об'єму, повторна технорезерована па всю ширину площина так, що нагрілогічна підготовка іншої сторони зразка і повтовник набуває Г-подібну форму. Посередині пласрення циклу вакуумного нанесення покриття. тини до вифрезерованої площини зроблено отвір В основу корисної моделі поставлено задачу 18 у формі зрізаного конуса так, щоб деталь 16 не удосконалити пристрій для двостороннього нанестворювала тіні при нанесенні покриття па зразок сення покриттів у вакуумі шляхом введення додат4. У наскрізних поздовжних отворах пластини 16 кового розпилювача з захисною заслонкою та визмонтований вольфрамовий нагрівальний еледозміненої конструкції нагрівника, що дозволило б мент 19, електрично ізольований керамічними отримати однакову якість двостороннього покриттрубками 20. Зразок затискається до пластини 16 тя за один цикл вакуумування. за допомогою рухомої по вифрезерованій поверхні Поставлена задача вирішується гак, що у примідної пластини, яка фіксується болтами 29 через строї для двостороннього нанесення покриттів у овальні отвори 30, що дозволяє кріпити різні за вакуумі, що містить випарник, закріплений жорстко розмірами зразки. В отворі пластини 16 близько до до двох штанг, одна з яких з'єднана з корпусом, а зразка 4 вмонтована у керамічну арматуру термодруга — з джерелом напруги, нагрівник зразка з пара 21. Для термоізоляції пластина 16 кріпиться нагрівним елементом та термопарою, жорстко до штатива 5 через керамічну пластину 22 за дозакріплений до штанги, з'єднаної з корпусом, рупомогою ніжки 23. Виводи кінців термопари 24 та хому захисну заслінку, розміщену між випарником нагрівального елемента 25 здійснено через гермета нагрівником, додатково введені випарник та тичні роз'єми у плиті основи робочого об'єму 2 (на заслінка, розміщені з протилежної сторони нагрівфіг. 1 не показано). З обох сторін зразка, при неника, причому випарник закріплений аналогічно обхідності, кріпляться трафарети 26 і 27 (фіг. 4) першому, а заслінка жорстко з'єднана з існуючою, гвинтами 28. нагрівник прямокутної Г-подібної форми, прикріпНанесення покрить па зразок здійснюють у талений до штанги, з'єднаної з корпусом через кекій послідовності: закріплюють зразок 4 (наприрамічну пластину, викопаний з нержавіючої сталі з клад, кремній), підготовлений для нанесенная поквифрезерованою з одного боку площиною та ритії, в нагрівнику 3; розпилюваний матеріал отвором у вигляді зрізаного конуса посередині, (наприклад, алюміній) поміщають на розпилювачі вольфрамовими в ізоляційних керамічних трубках 6, 7; у робочому об'ємі створюють вакуум; зразок 4 спіральними елементами, вмонтованими у напрогрівають до температури очистки поверхонь скрізні поздовжні отвори симетрично до отвору, (для кремнію - +350 °С): встановлюють температермопарою, вмонтованою у керамічну арматуру у туру зрачка, необхідну для одержання якісного корпусі нагрівника поблизу зразка, а зразок, розпокриття (при нанесенні алюмінію па кремній міщений під отвором і затиснений до нагрівника +300 °С), заслонки 8, 9 за допомогою ручки 12 мідною рухомою по вифрезерованій площині плавводять між зразком 4 та розпилювачами 6, 7; ростиною, зафіксованою до нього болтами. зпилювачі нагрівають одночасно, або послідовно З літературних джерел невідоме одночасне до розплавлений на них розпилюваного матеріалу; використання розпилювачів у вакуумних робочих відкривають заслонки 8, 9; випаровуванням матеоб'ємах. Автори вперше запропонували встановиріалів з розпилювачів, па зразок здійснюють нанети по обидві сторони зразка розпилювачі, які засення покрить. При необхідності, роблять додатбезпечують одночасне покриття поверхонь. До кову термообробку зразка. того ж для підтримання необхідної температури Якщо взяти за критерій якості нанесених покзразка автори запропонували закріплювати його у рить різницю омічних контактів на протилежних нагрівнику з двох сторін так, щоб дві його інші грані сторонах зразка, то розкид параметрів опорів па 5 47597 6 отриманому за допомогою запропонованого прилених за допомогою запропонованого пристрою, строю двосторонньому покритті па порядок менрізниця опорів на протилежних сторонах зразка па ший у порівнянні з аналогічним, отриманим па перевищує 1 Ом, для прототипа - 7 Ом), що підтпрототипі (наприклад, для зразків кремнію, напиверджує передбачуваний технічний результат. 7 Комп’ютерна верстка Г. Паяльніков 47597 8 Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП ―Український інститут промислової власності‖, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601