Спосіб одержання термочутливої плівки для неохолоджуваних болометрів

Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Спосіб одержання термочутливої плівки для неохолоджуваних болометрів, що включає нанесення у вакуумі на підкладку шару діелектрика, який відрізняється тим, що термочутливу плівку одержують методом термічного співвипаровування у вакуумі суміші порошків або високочастотним магнетронним розпиленням мішені, що містить монооксид кремнію SiO і принаймні один метал, вибраний з ряду Ті, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Y, Zr, Mo, Та, W, Се або їх сплав, об'ємний вміст якого qv в напиленій плівці змінюють в межах 0,l < qv < 0,3.

Текст

Спосіб одержання термочутливої плівки для неохолоджуваних болометрів, що включає нанесення у вакуумі на підкладку шару діелектрика, який відрізняється тим, що термочутливу плівку одержують методом термічного співвипаровування у вакуумі суміші порошків або високочастотним магнетронним розпиленням мішені, що містить монооксид кремнію SiO і принаймні один метал, вибраний з ряду Ті, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Y, Zr, Mo, Та, W, Се або їх сплав, об'ємний вміст якого qv в напиленій плівці змінюють в межах 0,l < qv 107 0,3 *105 (%К-1) -2,85 -0,16 >-3,2 -1,47 *)ковар: Fe:Ni:Co=54:28:18 (мас.%) Комп’ютерна верстка М. Клюкін Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Method for producing thermosensitive film for an uncooled bolometer

Автори англійською

Indutnyi Ivan Zakharovych, Mykhailovska Kateryna Vasylivna, Shepeliavyi Petro Yevhenovych

Назва патенту російською

Способ получения термочувствительной пленки для неохлаждаемого болометра

Автори російською

Индутный Иван Захарович, Михайловская Екатерина Васильевна, Шепелявый Петр Евгеньевич

МПК / Мітки

МПК: C23C 14/00, G01J 5/00, G01J 5/20

Мітки: болометрів, одержання, неохолоджуваних, плівки, спосіб, термочутливої

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/4-75377-sposib-oderzhannya-termochutlivo-plivki-dlya-neokholodzhuvanikh-bolometriv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб одержання термочутливої плівки для неохолоджуваних болометрів</a>

Подібні патенти