Шепелявий Петро Євгенович

Номер патенту: 109582

Опубліковано: 10.09.2015

Автори: Гера Едуард Васильович, Індутний Іван Захарович, Рубіш Василь Михайлович, Минько Віктор Іванович, Бородін Юрій Олександрович, Шепелявий Петро Євгенович, Крючин Андрій Андрійович, Данько Віктор Андрійович, Петров В'ячеслав Васильович, Луканюк Марія Василівна

МПК: G11B 7/26

Мітки: спосіб, сигналограми, оптично, виготовлення, оригіналу

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення оригіналу оптичної сигналограми, що включає нанесення у вакуумі на дискову підкладку адгезійного шару і шару неорганічного фоторезисту на основі халькогенідного скла, його експонування модульованим гостросфокусованим лазерним пучком, і формування рельєфної структури шляхом селективного хімічного травлення фоторезисту, який відрізняється тим, що як неорганічний фоторезист на основі халькогенідного скла використовують шар...

Номер патенту: 100965

Опубліковано: 25.08.2015

Автори: Данько Віктор Андрійович, Минько Віктор Іванович, Індутний Іван Захарович, Луканюк Марія Василівна, Шепелявий Петро Євгенович

МПК: G03F 7/26, G03G 5/10, G03F 1/56 ...

Мітки: спосіб, рельєфно-фазових, літографічних, періодичних, позитивних, структур, халькогенідних, формування, масок, резистів, шарах

Формула / Реферат:

1. Спосіб формування літографічних масок та рельєфно-фазових періодичних структур на шарах халькогенідних резистів, який включає нанесення на підкладинку шару резисту з неорганічної халькогенідної сполуки, відпал резисту протягом 1-3 годин при температурі від Tg-5 до Tg-15 °C, де Tg - температура розм'якшення даного халькогеніду, експонування резисту випромінюванням спектрального складу, що відповідає міжзонному поглинанню халькогеніду,...

Номер патенту: 87271

Опубліковано: 27.01.2014

Автори: Дорожинський Гліб Вячеславович, Стеценко Максим Олександрович, Христосенко Роман Васильович, Шепелявий Петро Євгенович, Данько Віктор Андрійович

МПК: G01N 21/55

Мітки: аналізу, середовищ, біомолекулярних, прилад

Формула / Реферат:

Прилад для аналізу біомолекулярних середовищ, який містить оптичний вузол, який складається з джерела р-поляризованого монохроматичного видимого світла, призми повного внутрішнього відбиття з нанесеним на її поверхню плівковим металевим робочим елементом та системи вимірювання інтенсивності відбитого від робочого елемента світла, а також пристрій механічного повороту призми з кроковим двигуном та системою передачі обертального руху від...

Номер патенту: 99226

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Минько Віктор Іванович, Шепелявий Петро Євгенович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович

МПК: G03G 5/00, G03F 7/00, G03H 1/26 ...

Мітки: літографічних, рельєфно-фазових, періодичних, масок, структур, фоторезистів, шарах, халькогенідних, спосіб, формування

Формула / Реферат:

1. Спосіб формування літографічних масок та рельєфно-фазових періодичних структур на шарах халькогенідних фоторезистів, який включає нанесення на підкладинку шару фоторезисту з неорганічної халькогенідної сполуки, експонування фоторезисту випромінюванням спектрального складу, що відповідає міжзонному поглинанню халькогеніду, шляхом проектування на фоторезист зображення відповідного фотошаблона, чи інтерференційного поля, сформованого двома...

Номер патенту: 99200

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Шепелявий Петро Євгенович, Данько Віктор Андрійович, Минько Віктор Іванович, Індутний Іван Захарович

МПК: G03H 1/00, G03F 7/00, G03G 5/00 ...

Мітки: періодичних, подвоєння, структур, записі, спосіб, рельєфно-фазових, частоти, просторової

Формула / Реферат:

1. Спосіб подвоєння просторової частоти при записі рельєфно-фазових періодичних структур, який включає послідовне нанесення на підкладинку адгезивного шару, допоміжного шару та верхнього шару фоторезисту, формування з фоторезисту інтерференційної літографічної маски періодичної 1D конфігурації певної просторової частоти, селективне травлення через маску допоміжного шару до утворення "грибоподібної" форми поперечного перерізу...

Номер патенту: 58700

Опубліковано: 26.04.2011

Автори: Михайловська Катерина Василівна, Шепелявий Петро Євгенович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович

МПК: H01L 21/265

Мітки: спосіб, одержання, матеріалу, світловипромінюючого

Формула / Реферат:

1. Спосіб отримання світловипромінюючого матеріалу на основі нанокомпозитних поруватих шарів Si-SiOx, що включає формування шару субоксиду кремнію SiOx (де х £ 2) шляхом осадження SiOx у вакуумі на підкладинку, орієнтовану під кутом 20-80° до напряму потоку осаджуваної речовини і наступного термічного відпалу цього шару при температурі 400-1300 °С в атмосфері інертного газу чи у вакуумі, який відрізняється тим, що після відпалу шар...

Номер патенту: 87393

Опубліковано: 10.07.2009

Автори: Минько Віктор Іванович, Шепелявий Петро Євгенович, Індутний Іван Захарович

МПК: G03F 7/00, G03H 1/26, G03G 5/082 ...

Мітки: спосіб, рельєфно-фазових, періодичних, структур, запису

Формула / Реферат:

1. Спосіб запису рельєфно-фазових періодичних структур, що включає нанесення на підкладинку шляхом термічного осадження у вакуумі шару фоторезисту з неорганічної халькогенідної сполуки, експонування на фоторезист інтерференційного поля, сформованого двома когерентними світловими пучками в оптичному середовищі рефракційного елемента з показником заломлення n більше 1, і наступне селективне травлення фоторезисту, який відрізняється тим, що як...

Номер патенту: 33100

Опубліковано: 10.06.2008

Автори: Шепелявий Петро Євгенович, Минько Віктор Іванович, Майданчук Іван Юрійович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович

МПК: H01L 21/265

Мітки: матеріалу, одержання, світловипромінювального, спосіб

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання світловипромінювального матеріалу на основі нанокомпозитних поруватих шарів Si-SiOx, який включає формування шару субоксиду кремнію SiOx (де х £ 2) шляхом осадження SiOx у вакуумі на підкладинку, орієнтовану під кутом 20-80° до напряму потоку осаджуваної речовини, і наступного термічного відпалу цього шару при температурі 400-1300 °С в атмосфері інертного газу чи у вакуумі, який відрізняється тим, що перед відпалом...

Номер патенту: 65921

Опубліковано: 15.11.2006

Автори: Вишинська Олександра Віталіївна, Шепелявий Петро Євгенович, Костюкевич Сергій Олександрович, Москаленко Надія Леонідівна

МПК: C03C 15/00, G11B 7/26, G03C 1/705 ...

Мітки: оптично, оригіналу, виготовлення, сигналограми, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення оригіналу оптичної сигналограми, що включає термічне нанесення у вакуумі на підкладку адгезійного шару і шару неорганічного фоторезисту на основі халькогенідного скла, його експонування модульованим сфокусованим лазерним пучком і формування рельєфної структури шляхом селективного хімічного травлення неекспонованих ділянок, який відрізняється тим, що до складу неорганічного фоторезисту вводять від 5 до 25 ат. % Se.

Номер патенту: 75793

Опубліковано: 15.05.2006

Автори: Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович, Майданчук Іван Юрійович

МПК: H01L 21/265

Мітки: основі, світловипромінювального, матеріалу, одержання, кремнію, спосіб

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання світловипромінювального матеріалу на основі кремнію, який включає осадження в вакуумі на підкладку шару субоксиду кремнію SiOx, де х менше 2 і наступного термічного відпалу цього шару при підвищеній температурі в атмосфері інертного газу або у вакуумі, який відрізняється тим, що під час осадження шару SiOx підкладку орієнтують під кутом від 20 до 80 градусів між нормаллю до підкладки і напрямком потоку осаджуваної...

Номер патенту: 75377

Опубліковано: 17.04.2006

Автори: Михайловська Катерина Василівна, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович

МПК: G01J 5/00, G01J 5/20, C23C 14/00 ...

Мітки: одержання, термочутливої, плівки, спосіб, неохолоджуваних, болометрів

Формула / Реферат:

Спосіб одержання термочутливої плівки для неохолоджуваних болометрів, що включає нанесення у вакуумі на підкладку шару діелектрика, який відрізняється тим, що термочутливу плівку одержують методом термічного співвипаровування у вакуумі суміші порошків або високочастотним магнетронним розпиленням мішені, що містить монооксид кремнію SiO і принаймні один метал, вибраний з ряду Ті, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Y, Zr, Mo, Та, W, Се або їх сплав,...

Номер патенту: 34995

Опубліковано: 15.09.2003

Автори: Петров В'ячеслав Васильович, Венгер Євген Федорович, Крючин Андрій Андрійович, Гольцов Юрій Генадійович, Бородін Юрій Олександрович, Костюкевич Сергій Олександрович, Шепелявий Петро Євгенович

МПК: C03C 15/00, G03C 1/76, C03C 23/00 ...

Мітки: халькогенідного, резистних, шарів, негативного, аs2s3, спосіб, скла, приготування, селективного, травника

Формула / Реферат:

Спосіб приготування негативного селективного травника для резистних шарів халькогенідного скла Аs2S3, який полягає в тому, що змішують основу і ацетон, який відрізняється тим, що до складу вихідної суміші додатково вводять диметилсульфоксид, а як основу беруть етилендіамін при наступному концентраційному співвідношенні компонентів, об. %: етилендіамін 8-12 ацетон 55-70 ...

Номер патенту: 58558

Опубліковано: 15.08.2003

Автори: Михайловська Катерина Василівна, Шепелявий Петро Євгенович, Індутний Іван Захарович

МПК: H01J 9/227

Мітки: виготовлення, чорної, спосіб, матриці

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення чорної матриці на екрані кольорової електронно-променевої трубки, при якому чорне покриття наносять у вигляді просторово-неоднорідного шару шляхом термічного напилення в вакуумі металодіелектричної суміші, формують в ньому отвори для люмінофорів шляхом прямої фотолітографії, який відрізняється тим, що для одержання чорного покриття беруть металодіелектричну суміш складу (SiO)xMe100-х, де Me - принаймні один метал з ряду...

Номер патенту: 36209

Опубліковано: 15.01.2003

Автори: Шепелявий Петро Євгенович, Костюкевич Сергій Олександрович, Венгер Євген Федорович, Гольцов Юрій Генадійович

МПК: G02B 5/32, G03H 1/18

Мітки: голографічних, граток, дифракційних, виготовлення, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення голографічних дифракційних ґраток, який включає вакуумне нанесення на підкладку адгезійного шару, резистного шару халькогенідного скла, його експонування когерентними пучками лазерного випромінювання, селективне травлення в розчині, що містить етилендіамін, нанесення відбиваючого покриття, який відрізняється тим, що наносять шар халькогенідного скла потрійної системи As40S60-xSex, де

Номер патенту: 28593

Опубліковано: 16.10.2000

Автори: Шепелявий Петро Євгенович, Михайловська Катерина Василівна, Індутний Іван Захарович

МПК: H01J 9/227

Мітки: екрані, трубки, світлопоглинаючої, виготовлення, кольорової, матриці, спосіб, електронно-променевої

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення світлопоглинаючої матриці на екрані кольорової електронно-променевої трубки, при якому світлопоглинаюче покриття наносять у вигляді просторово-неоднорідного шару, який одержують термічним випаровуванням у вакуумі дрібнодисперсної суміші на основі SiOxCr100-x, де  (мас.%), формують в ньому отвори для люмінофорів методом прямої фотолітографії, який...

Номер патенту: 22488

Опубліковано: 03.03.1998

Автори: Робур Ігор Йосипович, Індутний Іван Захарович, Шутовський Владіслав Володимирович, Михайловська Катерина Василівна, Шепелявий Петро Євгенович

МПК: H01J 9/20, H01J 29/88

Мітки: кінескопа, внутрішнього, покриття, виготовлення, кольорового, провідного, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення внутрішнього провідного покриття кольорового кінескопа, який включає термічне напилення в вакуумі на конусну частину кінескопа металомісткого матеріалу, який відрізняється тим, що як металомісткий матеріал використовують дрібнодисперсну суміш SiOxMn100-x при 30≤x≤50 мас.%, яку нагрівають спочатку до температури сублімації Μn і доводять її до температури сублімації SiO.

Номер патенту: 8318

Опубліковано: 29.03.1996

Автори: Шепелявий Петро Євгенович, Сопінський Микола Вікторович, Індутний Іван Захарович

МПК: H05K 3/06

Мітки: виготовлення, позитивного, зображення, спосіб, металізованого

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення позитивного ме­талізованого зображення, що включає нанесення на підкладку основного шару металу, покриття його фоторезистивною структурою, яка скла­дається з послідовно розміщених металевого, бар'єрного шарів та шару неорганічної речовини, здатних взаємодіяти між собою при опроміненні актинічним світлом, експонування, видалення ек­спонованих ділянок, травлення основного шару в вікнах захисної маски, який відрізняється...