Патенти з міткою «арсенідгалієвих»
Спосіб формування арсенідгалієвих гетероепітаксійних структур для субмікронних нвч – великих інтегральних схем
Номер патенту: 77223
Опубліковано: 11.02.2013
Автори: Новосядлий Степан Петрович, Кіндрат Тарас Петрович, Варварук Василь Миколайович, Мельник Любомир Васильович
МПК: H01L 21/00
Мітки: субмікронних, спосіб, гетероепітаксійних, структур, великих, нвч, формування, схем, арсенідгалієвих, інтегральних
Формула / Реферат:
1. Спосіб формування арсенідгалієвих гетероепітаксійних структур для субмікронних НВЧ - великих інтегральних схем, який включає підготовку кремнієвих підкладок КЕФ 0,1 (111) з розорієнтацією поверхні 3-4°, їх хімічної обробки в травнику Каро для очистки поверхні, який відрізняється тим, що процес осадження n-шарів GaAs реалізують низькотемпературною плазмовою епітаксією (Т<400 °C) в реакторі надвисоких частот (2,45 ГГц)...