Патенти з міткою «автоепітаксіальних»
Спосіб одержання автоепітаксіальних шарів кремнію
Номер патенту: 7562
Опубліковано: 29.09.1995
Автори: Литовченко Володимир Григорович, Романюк Борис Миколайович, Марченко Ростислав Іванович, Жолудєв Геннадій Кузьмич, Думбров Володимир Іванович, Шаповалов Віталій Павлович
МПК: H01J 37/30, H01L 21/265
Мітки: спосіб, кремнію, одержання, автоепітаксіальних, шарів
Формула / Реферат:
Способ получения автоэпитаксиальных слоев кремния, включающий формирование на рабочей поверхности подложек маски, имплантацию ионов в немаскированные участки подложки, удаление маски, эпитаксиальное наращивание, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества автоэпитаксиальных слоев кремния за счет подавления процесса распространения дефектов из геттерируювдих областей в рабочие участки ав-тоэпитаксиальных слоев, имплантацию...