Патенти з міткою «геттерування»

Номер патенту: 7373

Опубліковано: 29.09.1995

Автори: Кудіна Альбіна Вікторівна, Жолудєв Геннадій Кузьмич, Рудський Ігор Володимирович, Романюк Борис Миколайович, Попов Валентин Георгійович, Думбров Володимир Іванович, Литовченко Володимир Григорович, Москаль Денис Миколайович

МПК: H01L 21/322

Мітки: внутрішнього, пластинах, геттерування, спосіб, кремнійових

Формула / Реферат:

Способ внутреннего геттерирования в кремни­евых пластинах с содержанием кислорода 4•1017-1•1018 см-3 , включающий проведение двухста­дийного отжига при температурах T1=600-8000С и Т2=1050-1150°С в нейтральной среде, отлича­ющийся тем, что, с целью повышения эффектив­ности процесса геттерирования, отжиг при температуре T1 проводят в течение 3-8 ч в поле градиента механических напряжений, обеспечи­вающих сжатие рабочей и растяжение нерабочей...