Москаль Денис Миколайович
Спосіб внутрішнього геттерування в кремнійових пластинах
Номер патенту: 7373
Опубліковано: 29.09.1995
Автори: Романюк Борис Миколайович, Литовченко Володимир Григорович, Попов Валентин Георгійович, Рудський Ігор Володимирович, Думбров Володимир Іванович, Жолудєв Геннадій Кузьмич, Москаль Денис Миколайович, Кудіна Альбіна Вікторівна
МПК: H01L 21/322
Мітки: пластинах, спосіб, геттерування, кремнійових, внутрішнього
Формула / Реферат:
Способ внутреннего геттерирования в кремниевых пластинах с содержанием кислорода 4•1017-1•1018 см-3 , включающий проведение двухстадийного отжига при температурах T1=600-8000С и Т2=1050-1150°С в нейтральной среде, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности процесса геттерирования, отжиг при температуре T1 проводят в течение 3-8 ч в поле градиента механических напряжений, обеспечивающих сжатие рабочей и растяжение нерабочей...