Патенти з міткою «метал-si»

Номер патенту: 106825

Опубліковано: 10.05.2016

Автори: Коростинська Тамара Василівна, Виноградов Анатолій Олегович, Болтовець Микола Силович, Атаубаєва Акумис Берисбаївна, Бєляєв Олександр Євгенович, Кудрик Ярослав Ярославович, Конакова Раїса Василівна

МПК: H01L 29/00, H01L 21/268

Мітки: контактних, систем, термостійких, метал-si, виготовлення, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення термостійких контактних систем метал-Si, який включає в себе очищення поверхні кремнієвої підкладки, магнетронне напилювання контактоутворюючого шару та шару дифузійного бар'єру ТіВ2, товщиною 60¸100 нм, і зовнішнього контактного шару на підігріту до 100¸150 °C підкладку Si, який відрізняється тим, що як контактоутворюючий шар наносять шар Ті, товщиною 10¸30 нм, та наносять додатковий шар...