H01L 21/463 — обробка механічними способами, наприклад шліфуванням, ультразвуком
Спосіб керування електрофізичними параметрами напівпровідникових сполук типу а11в1
Номер патенту: 11659
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Оліх Ярослав Михайлович, Любченко Олексій Вікторович, Єргаков Валерій Костянтинович, Мисливець Ксенія Артурівна, Карачевцева Людмила Анатольєвна, Лукинський Юрій Леонідович, Сальков Євген Андрійович, Курбанов Курбан Рамазанович, Баранський Петро Іванович
МПК: H01L 21/463, H01L 21/26
Мітки: керування, сполук, параметрами, спосіб, типу, а11в1, електрофізичними, напівпровідникових
Формула / Реферат:
1. Способ управления электрофизическими параметрами полупроводниковых соединений типа АІ ВVI, включающий ультразвуковое воздействие интенсивностью 102 - 2-103 Вт/ч2 на образец соединения и последующее химическое удаление приповерхностного нарушенного слоя на глубину 5-10 мкм, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности управления концентраций, подвижностью и временем жизни носителей заряда в соединениях Cdxtg1-k Te состава...