Мисливець Ксенія Артурівна
Спосіб керування електрофізичними параметрами напівпровідникових сполук типу а11в1
Номер патенту: 11659
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Карачевцева Людмила Анатольєвна, Мисливець Ксенія Артурівна, Лукинський Юрій Леонідович, Сальков Євген Андрійович, Єргаков Валерій Костянтинович, Оліх Ярослав Михайлович, Баранський Петро Іванович, Любченко Олексій Вікторович, Курбанов Курбан Рамазанович
МПК: H01L 21/26, H01L 21/463
Мітки: параметрами, напівпровідникових, електрофізичними, сполук, керування, спосіб, а11в1, типу
Формула / Реферат:
1. Способ управления электрофизическими параметрами полупроводниковых соединений типа АІ ВVI, включающий ультразвуковое воздействие интенсивностью 102 - 2-103 Вт/ч2 на образец соединения и последующее химическое удаление приповерхностного нарушенного слоя на глубину 5-10 мкм, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности управления концентраций, подвижностью и временем жизни носителей заряда в соединениях Cdxtg1-k Te состава...