Оліх Ярослав Михайлович
Спосіб керування електрофізичними параметрами напівпровідникових сполук типу а11в1
Номер патенту: 11659
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Сальков Євген Андрійович, Баранський Петро Іванович, Любченко Олексій Вікторович, Лукинський Юрій Леонідович, Мисливець Ксенія Артурівна, Карачевцева Людмила Анатольєвна, Курбанов Курбан Рамазанович, Оліх Ярослав Михайлович, Єргаков Валерій Костянтинович
МПК: H01L 21/26, H01L 21/463
Мітки: типу, а11в1, керування, напівпровідникових, спосіб, сполук, параметрами, електрофізичними
Формула / Реферат:
1. Способ управления электрофизическими параметрами полупроводниковых соединений типа АІ ВVI, включающий ультразвуковое воздействие интенсивностью 102 - 2-103 Вт/ч2 на образец соединения и последующее химическое удаление приповерхностного нарушенного слоя на глубину 5-10 мкм, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности управления концентраций, подвижностью и временем жизни носителей заряда в соединениях Cdxtg1-k Te состава...