Котик Михайло Васильович
Спосіб плазмового формування міжшарової ізоляції структур великих інтегральних схем
Номер патенту: 114668
Опубліковано: 10.07.2017
Автори: Новосядлий Степан Петрович, Котик Михайло Васильович, Варварук Василь Миколайович, Новосядлий Святослав Володимирович
МПК: H01L 21/3065, H01L 21/265, H01L 21/31 ...
Мітки: формування, спосіб, інтегральних, ізоляції, структур, плазмового, міжшарової, схем, великих
Формула / Реферат:
Спосіб плазмового формування міжшарової ізоляції субмікронних структур ВІС, що містить мікроцикли технологічних операцій транзисторних структур до формування контактних вікон, який відрізняється тим, що міжшарову ізоляцію формують НВЧ-плазмовим низькотемпературним осадженням борофосфоросилікатного скла в реакторі електронно-циклотронного резонансу розкладом дисилану, легованого бором, фосфором із вмістом В2О3 і Р2О5 в склі 11±2%, 2,5±0,5% ат...