H01L 21/3065 — полум’яне травлення; іонне травлення
Спосіб плазмового формування міжшарової ізоляції структур великих інтегральних схем
Номер патенту: 114668
Опубліковано: 10.07.2017
Автори: Варварук Василь Миколайович, Котик Михайло Васильович, Новосядлий Степан Петрович, Новосядлий Святослав Володимирович
МПК: H01L 21/3065, H01L 21/31, H01L 21/265 ...
Мітки: інтегральних, плазмового, схем, структур, спосіб, формування, великих, ізоляції, міжшарової
Формула / Реферат:
Спосіб плазмового формування міжшарової ізоляції субмікронних структур ВІС, що містить мікроцикли технологічних операцій транзисторних структур до формування контактних вікон, який відрізняється тим, що міжшарову ізоляцію формують НВЧ-плазмовим низькотемпературним осадженням борофосфоросилікатного скла в реакторі електронно-циклотронного резонансу розкладом дисилану, легованого бором, фосфором із вмістом В2О3 і Р2О5 в склі 11±2%, 2,5±0,5% ат...
Пристрій прецизійної плазмової обробки
Номер патенту: 105436
Опубліковано: 25.03.2016
Автор: Веремійченко Георгій Микитович
МПК: H01L 21/3065, H05H 1/00
Мітки: пристрій, прецизійної, обробки, плазмової
Формула / Реферат:
1. Пристрій прецизійної плазмової обробки, який містить в собі вакуумну камеру з засобами відкачки та запірно-регулюючою газовою системою, в нижній частині якої вісесиметрично розміщені тримач з оброблюваною підкладкою та кільцевий електрод, тримач і кільцевий електрод з'єднані через узгоджувальні пристрої з ВЧ-генераторами, а зовні камера облаштована магнітною системою, який відрізняється тим, що в верхній частині камери змонтоване...