Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття конденсацією із парової фази (варіанти)

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає покривну камеру (12), яка функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, тигель (56), розташований у середині покривної камери (12), покривний матеріал (26), який оточений тиглем (56) і міститься в ньому, причому покривний матеріал (26) має поверхню, що піддається дії тигля (56), електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронного променя (28) на поверхню покривного матеріалу (26), причому форма електронних променів (28) має вищу інтенсивність (98) в місці контакту поверхні покривного матеріалу (26) та тигля (56), ніж в центральній ділянці поверхні покривного матеріалу (26).

2. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази за п. 1, який відрізняється тим, що інтенсивність в центральній ділянці поверхні покривного матеріалу (26) практично дорівнює нулю.

3. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази за п. 1, який відрізняється тим, що електронний промінь (28) додатково проеціюється на поверхню ділянки (84) тигля (56), що контактує з поверхнею покривного матеріалу (26), причому форма променя має вищу інтенсивність (98) на поверхні ділянки (84) тигля (56), ніж в центральній ділянці поверхні покривного матеріалу (26).

4. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази за п. 1, який відрізняється тим, що форма променя має периметр на ділянці поверхні (84) тигля (56), причому електронний промінь (28), спрямований на поверхню покривного матеріалу під непрямим кутом так, щоб встановити відносно електронно-променевої гармати (30) проксимальну точку перехрестя (100) та розташовану протилежно периферичну точку перехрестя (101) по периметру форми променя, яка має інтенсивність в проксимальній та периферичній точках (100, 101) нижчу, ніж інтенсивність (98) будь-де по периметру форми променя.

5. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази за п. 4, який відрізняється тим, що інтенсивність форми променя в проксимальній та периферичній точках (100, 101) має значення приблизно на 30 - 70% менше, ніж  інтенсивність (98) будь-де по периметру форми променя.

6. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає засоби для проеціювання окремої форми (97) променя на тигель (56) для випаровування крапель розплавленого покривного матеріалу (26) з тигля (56), причому окрема форма (97) променя має вищу інтенсивність, ніж форма променя на покривному матеріалі (26).

7. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази включає покривну камеру (12), в якій розташований покривний матеріал (26) та яка знаходиться в умовах підвищеної температури та тиску більше 0,010 мбар, тигель (56), розташований у середині покривної камери (12), покривний матеріал (26), який оточений тиглем (56) та міститься в ньому, причому покривний матеріал (26) має поверхню, що піддається дії тигля (56), електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронного променя (28) на поверхню покривного матеріалу (26) та на суміжну з нею ділянку (84) поверхні тигля (56), причому електронний промінь має форму, що по периметру накладена на суміжну ділянку (84) поверхні тигля (56), електронно-променева гармата (30) розплавлює поверхню покривного матеріалу (26) та випаровує розплавлений покривний матеріал (26), при цьому електронний промінь (28) має інтенсивність (98), вищу в місці контакту поверхні покривного матеріалу (26) та суміжної ділянки (84) поверхні тигля (56), ніж в центральній ділянці поверхні покривного матеріалу (26), та спрямований на поверхню покривного матеріалу під непрямим кутом так, щоб встановити відносно електронно-променевої гармати (30) проксимальну точку перехрестя (100) та розташовану протилежно периферичну точку перехрестя (101) по периметру форми променя, електронний промінь (28) має інтенсивність в проксимальній та периферичній точках (100, 101) нижчу, ніж інтенсивність (98) будь-де по периметру форми променя.

8. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази за п. 7, який відрізняється тим, що інтенсивність в центральній ділянці поверхні покривного матеріалу (26) практично дорівнює нулю.

9. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази за п. 7, який відрізняється тим, що інтенсивність форми променя в проксимальній та периферичній точках (100, 101) має значення приблизно на 30 - 70% менше, ніж інтенсивність (98) будь-де по периметру форми променя.

10. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази за п. 8, який відрізняється тим, що додатково включає засоби для проеціювання променів (97) окремих форм на тигель (56) для випаровування крапель розплавленого покривного матеріалу (26) з тигля (56), причому окремі форми променів (97) мають вищу інтенсивність, ніж форми променів на покривному матеріалі (26).