Датчик тиску
Номер патенту: 14490
Опубліковано: 15.05.2006
Автори: Прохоров Георгій Валерійович, Мінгальов Володимир Олександрович, Вікулін Іван Михайлович
Формула / Реферат
Датчик тиску, що являє собою мембрану з напівпровідника першого типу провідності, в якій утворений вимірювальний міст з чотирьох тензорезисторів другого типу провідності, який відрізняється тим, що з метою збільшення тензочутливості в поверхню кожного тензорезистора вбудована додаткова область першого типу провідності.
Текст
Датчик тиску, що являє собою мембрану з напівпровідника першого типу провідності, в якій утворений вимірювальний міст з чотирьох тензорезисторів другого типу провідності, який відрізняється тим, що з метою збільшення тензочутливості в поверхню кожного тензорезистора вбудована додаткова область першого типу провідності. (19) (21) u200511265 (22) 28.11.2005 (24) 15.05.2006 (46) 15.05.2006, Бюл. № 5, 2006 р. (72) Вікулін Іван Михайлович, Мінгальов Володимир Олександрович, Прохоров Георгій Валерійович (73) ОДЕСЬКА НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ ЗВ'ЯЗКУ ІМ. А.С. ПОПОВА 3 14490 4 імплантації бору в кремній на глибину 1,3-1,5мкм, В/атм, що в 8 - 12 разів вище чутливості таких же а області 6 n-типу розмірами 6-400мкм - імплантадатчиків, але без вбудованих областей 6. цією фосфору на глибину 0,7-0,8мкм з наступною Датчик може виготовлятись на будь-якому підтермічною активацією домішок. приємстві по виробництву електронних приладів, При напрузі живлення мосту 6 В тензочутлияке має стандартну технологію напівпровідникових вість при вимірюванні тиску повітря складала 0,6 планарних приладів і інтегральних мікросхем. Комп’ютерна верстка Н. Лисенко Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601
ДивитисяДодаткова інформація
Назва патенту англійськоюPressure transducer
Автори англійськоюVikulin Ivan Mykhailovych
Назва патенту російськоюДатчик давления
Автори російськоюВикулин Иван Михайлович
МПК / Мітки
МПК: G01L 9/04
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/2-14490-datchik-tisku.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Датчик тиску</a>