Спосіб виготовлення чорної матриці

Спосіб виготовлення чорної матриці на екрані кольорової електронно-променевої трубки, при якому чорне покриття наносять у вигляді просторово-неоднорідного шару шляхом термічного напилення в вакуумі металодіелектричної суміші, формують в ньому отвори для люмінофорів шляхом прямої фотолітографії, який відрізняється тим, що для одержання чорного покриття беруть металодіелектричну суміш складу (SiO)xMeioo x, де Me - принаймні один метал з ряду Fe, Co, Ni, V, W, Ті, MO, Та або їх суміш, а х змінюється в інтервалі 20 < х < 50 (мас %) Запропонований винахід відноситься до електронної техніки, а саме до виробництва матричних кольорових електронно-променевих трубок (КЕПТ) і може бути використаний також у виробництві інших типів дисплеїв (плазмових, рідкокристалічних, електролюмінісцентних) Крім того, винахід може знайти застосування в оптичному приладобудуванні для виготовлення вимірювальних растрів, візирних сіток, масштабних шкал з низьким світловим відбиванням, що суттєво зменшують рівень світлових шумів в приладах На екранах матричних КЕПТ та інших типів дисплеїв проміжки між окремими випромінюючими елементами (пікселями) заповнені світлопоглинаючим чорним покриттям у вигляді чорної (світлопоглинаючої) матриці (ЧМ), яка поглинає зовнішнє світло, а також розсіяне випромінювання від сусідніх пікселів Усунення цього світлового фону завдяки ЧМ робить кольорове зображення на екрані більш чітким та контрастним В серійному виробництві матричних КЕПТ для одержання ЧМ, використовують, головним чином, графітові чорні покриття (ЧП), які наносять на центрифузі з розчину колоїдно-графітового препарату і структурують методом підривної (оберненої) фотолітографії Використання ЧП на основі графіту має ряд недоліків до яких насамперед треба віднести їх схильність до коагуляції, наявність сорбційних властивостей, слабка адгезія, зміна світлопоглинаючих властивостей в процесі термічного відпалу Тому актуальною є проблема розробки альтернативних ЧП, наприклад, на основі метало діелектричних тонких шарів, що наносяться у ва куумі Наприклад, відомий спосіб виготовлення ЧМ (заявка №3539572 АІ ФРН, МПК4 H01J9/20, 29/30, публ 1987р), згідно з яким на поверхню екрану в вакуумі наносять світлопоглинаюче ЧП у вигляді двох шарів оксиду металу (МеО) та металу (Me), де Me - це Cr, Ni, і далі формують в ньому отвори методом прямої фотолітографії Внаслідок дискретності структури такого ЧП не може бути досягнуте низьке відбивання від нього з лицьового боку екрану Також відомий спосіб виготовлення ЧМ (пат США №5,976,639, МПК6 G02F1/1333, публ 1999р), згідно з яким на внутрішню поверхню панелі кольорового фільтра рідкокристалічного дисплея методом високочастотного реактивного розпилення наносять ЧП у вигляді двох шарів, кожний з яких включає принаймні два складових елементи Один з шарів є перехідним, в якому вміст одного з складових елементів збільшується вздовж напрямку падаючого світла Перший елемент береться з ряду металів Cr, W, Та, Ті, Ni, Fe, а другий елемент перехідного шару береться з ряду О, N, С Цей спосіб нанесення чорних покриттів в серійному виробництві КЕПТ реалізувати практично неможливо, оскільки не існує дискретних конвеєрних ЛІНІЙ з постами магнетронного розпилення За прототип вибрано спосіб виготовлення ЧМ на екрані КЕПТ (Пат Рос Федерації №2052864, МПК5 H01J9/227, публ 1996р), згідно з яким на внутрішню поверхню екрану методом термічного випаровування у вакуумі суміші (SiO)xCrioo x, де 10