Холевчук Володимир Васильович
Спосіб виготовлення терморезистора
Номер патенту: 95630
Опубліковано: 25.12.2014
Автори: Матвєєва Людмила Олександрівна, Мітін Вадим Федорович, Болтовець Микола Силович, Венгер Євген Федорович, Слєпова Олександра Станіславівна, Голинна Тетяна Іванівна, Литвин Петро Мар'янович, Холевчук Володимир Васильович
Мітки: виготовлення, терморезистора, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення терморезистора, який включає осадження термочутливої плівки монокристалічного германію у вакуумі на підкладку із напівізолюючого арсеніду галію, який відрізняється тим, що термочутливу плівку осаджують зі швидкістю V£Vn, при якій у плівці відбувається релаксація пружних напружень шляхом утворення крупномасштабного рельєфу на поверхні плівки і випадкових нанонеоднорідностей в об'ємі, до товщини d£dr, де товщина...
Датчик температури
Номер патенту: 93207
Опубліковано: 25.09.2014
Автори: Веремійченко Георгій Микитович, Кривуца Валентин Антонович, Мітін Вадим Федорович, Бєляєв Олександр Євгенович, Пузіков В'ячеслав Михайлович, Холевчук Володимир Васильович, Конакова Раїса Василівна, Семенов Олександр Володимирович, Шеремет Володимир Миколайович, Болтовець Микола Силович
МПК: G01K 1/00
Мітки: температури, датчик
Формула / Реферат:
1. Датчик для вимірювання температури, виготовлений у вигляді чипа, що містить в собі чутливий шар напівпровідникового матеріалу з омічними контактами, корпус якого складається з основи та кришки, електричних виводів для монтажу в вимірювальних колах, який відрізняється тим, що чутливий елемент виконаний у вигляді епітаксійної плівки SiC, вирощеної на підкладці сапфіру, причому до сторони SiC сформовані омічні контакти Ті-Мо-Au, які мають...