Датчик температури

Реферат: Датчик для вимірювання температури, виготовлений у вигляді чипа, містить в собі чутливий шар напівпровідникового матеріалу з омічними контактами, корпус якого складається з основи та кришки, електричних виводів для монтажу в вимірювальних колах. Чутливий елемент виконаний у вигляді епітаксійної плівки SiC, вирощеної на підкладці сапфіру. До сторони SiC сформовані омічні контакти Ті-Мо-Au, які мають топологію двох гребінок, до яких приєднані гнучкі балочні виводи. Чутливий елемент за допомогою гнучких балочних виводів закріплений в діелектричному корпусі з металізованими торцевими поверхнями та з двох сторін герметично закритими електро- та теплопровідними кришками. UA 93207 U (12) UA 93207 U UA 93207 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Корисна модель належить до первинних вимірювальних засобів - температурних датчиків і може бути використана в різних галузях науки і техніки та входити в склад автоматичних систем управління. Найбільш ефективно запропоноване технічне рішення може бути використано в автоматиці, телемеханіці, робототехніці, термометрії, електроніці, зв'язку та кріогенній техніці. Пристрій, який заявляється, представляє собою тип активного датчика, відомого як термістор або терморезистор. Опір терморезисторів, визначений по зміні струму або падінню напруги, пропорційний температурі, яка може бути визначена по відомим залежностям питомого опору від температури ρ(Т). Чутливий елемент терморезистора - матеріал з великим температурним коефіцієнтом опору (ТКО). Опір терморезисторів може лежати в інтервалі від 6 часток Ом до 10 Ом. Як матеріал для чутливих елементів використовуються метали та напівпровідники. Терморезистори на основі металів мають такі недоліки: 0 .4  0 .5 % ТКО  K 1. Невисокий 2. Складність в виробництві, так як в своєму складі мають дротові намотки для одержання необхідних номіналів опору. 3. Важко досягти мініатюрних розмірів. В наш час найбільшого поширення набули терморезистори на основі напівпровідникових матеріалів, в яких ТКО в 10-20 разів вище, ніж в металах, наприклад окисли перехідних металів Mn, Co, Ni, Сu та V, які мають незаповнені електронні 3d - оболонки [1]. Аналоги терморезистори на основі цих матеріалів широкого використовуються на практиці і масово випускаються промисловістю для вимірювання середніх, високих та низьких температур. Однак для вимірювання температур