Спосіб визначення середньої арифметичної висоти нерівностей поверхні кристалу методом повного зовнішнього відбивання х-променів

Номер патенту: 104335

Опубліковано: 25.01.2016

Автори: Фодчук Ігор Михайлович, Баловсяк Сергій Васильович

Є ще 2 сторінки.

Дивитися все сторінки або завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Спосіб визначення середньої арифметичної висоти Ra нерівностей поверхні кристалу методом повного зовнішнього відбивання Х-променів на основі розподілів інтенсивності кривих гойдання (КГ) І(α), які обчислюють шляхом інтерполяції експериментальних КГ Η(α), отриманих в X-променевому дифрактометрі при фіксованих кутах θ повороту кристалу в Q базових точках з координатами (αр, Нр), який відрізняється тим, що точне значення кута θ повороту кристалу, при якому його поверхня паралельна до осі первинного пучка Х-променів, визначають в автоматичному режимі за максимумом КГ, а значення інтерпольованої КГ І(α) обчислюють в QІ точках з координатами (αk, Ik) як суму згладженої функції ІC(α), яка апроксимує базові точки, та лінійної узгоджуючої функції U (α,р), яка плавно наближує значення функції І(α) до Нр у вузлах інтерполяції p, де в якості функції ІC(α) використовують інтерпольовану за допомогою кубічних сплайнів залежність Η(α) після її згортки з ядром фільтра Гауса.

Текст

Реферат: Спосіб визначення середньої арифметичної висоти Ra нерівностей поверхні кристалу методом повного зовнішнього відбивання Х-променів на основі розподілів інтенсивності кривих гойдання (КГ) І(α), які обчислюють шляхом інтерполяції експериментальних КГ Η(α), отриманих в Xпроменевому дифрактометрі при фіксованих кутах θ повороту кристалу в Q базових точках з координатами (αр, Нр), причому точне значення кута θ повороту кристалу, при якому його поверхня паралельна до осі первинного пучка Х-променів, визначають в автоматичному режимі за максимумом КГ, а значення інтерпольованої КГ І(α) обчислюють в QІ точках з координатами (αk, Ik) як суму згладженої функції ІC(α), яка апроксимує базові точки, та лінійної узгоджуючої функції U (α,р), яка плавно наближує значення функції І(α) до Нр у вузлах інтерполяції p, де як функцію ІC(α) використовують інтерпольовану за допомогою кубічних сплайнів залежність Η(α) після її згортки з ядром фільтра Гауса. UA 104335 U (12) UA 104335 U UA 104335 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Корисна модель належить до галузі неруйнівної діагностики рельєфу поверхні кристалів за даними Х-променевих методів, зокрема методу повного зовнішнього відбивання (ПЗВ) Хпроменів (X-ray reflectivity), і може практично використовуватися для отримання і обробки розподілу інтенсивності Х-променевих кривих ПЗВ з метою більш точного визначення середньої арифметичної висоти нерівностей поверхні кристалів [1-5]. Метод ПЗВ Х-променів використовується для визначення параметрів рельєфу поверхні і параметрів поверхневого шару кристалів [1-3]. Даний метод реалізується в Х-променевих дифрактометрах. В методі ПЗВ Х-променів на поверхню плоского зразка під кутом ковзання θ

Дивитися

Додаткова інформація

МПК / Мітки

МПК: G01T 1/16, G06T 17/30, G09B 23/26, G06F 17/17

Мітки: відбивання, визначення, висоті, нерівностей, спосіб, повного, поверхні, кристалу, арифметичної, зовнішнього, методом, середньої, х-променів

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/10-104335-sposib-viznachennya-seredno-arifmetichno-visoti-nerivnostejj-poverkhni-kristalu-metodom-povnogo-zovnishnogo-vidbivannya-kh-promeniv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб визначення середньої арифметичної висоти нерівностей поверхні кристалу методом повного зовнішнього відбивання х-променів</a>

Подібні патенти