Спосіб виготовлення кремнієвих газочутливих елементів

Изобретение относится к области аналиіа газое, в частности к способам изготовления полупроводниковых чувствительных элементов газовых детекторов для конгооля содержания в воздухе паров диэтилового эфира, которые мо Изобретение относится к области анализа газов, в частности к способам изготовления полупроводниковых чувствительных элементов газовых детекторов для контроля содержания в воздухе паров диэтилового эфира. Цель изобретения - повышение чувствительности элементов к диэтиловому эфиру. П р и м е р , Пластины высокоомного монокристаллического кремния, полученные после резки слитка, подвергают стандартной технологической обработке - промывке» шлифовке и полировке. Затем их обрабатывают химическим травлением для получения заданного потенциала поверхности. Путем вакуумного напыления через маску наносят алюминиевые контактные площадки за гут быть использована е автомаги; ванных системах контроля и управления качеством воздушной среды производственных помещении. Цель изобретения « повышение чувствительности элементов к диэтиловому эйиру и достигается путем обработки элементов до получения сенсибилизирующего эффекта хлорметилтрихлорсиланом» При обработке чувствительных элементов хлормеч млтрихлорсиланом на их повер? ности образуются хлорметильные функциональные группы, являющиеся активными центрами специфической адсорбции паров дмэтилового эфира. За счет этого достигается повышение чувствительности элементов к диэтилоаому эфиру. данной формы. Пластини разрезают на отдельные кристаллы размером 1/0,7 мь а к которым затем методом іермокочгфессии приваривают проволочные электрические выводы, Далее кристалл монтируют на стандартном корпусе для транзисторов и закрывают колпачкок с отверстиями. Для получения селективной чувствительности к диэтиловому эфиру прибору обрабатывают в парах над кипящим хлор метилтрихлорсиланом при температуре 11S...120 С. Количество вводимых на поверхность полупроводника хлорметильных функциональных групп засмейs от времени обработки образцов в па~ рах хлорметилтрихлорсилана. Время, необходимое для достижения максималь™ 1519357 ной чувствительности к диэтиловому эфиру, найдено опытным путем и соетавляет 20-25 мин. Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я Способ изготовления кремниевых газочувствительных элементов, заключающийся в обработке поверхности элементов смесью веществ для легирования Редактор Л.Герасимова поверхности примесямиt повышающими чувствительность элементов к анализируемому компоненту, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности элементов к диэтиловому эфиру, газочувствительные элементы обрабатывают хлорхетилтрихлорсиланом в интервале температур О Т 115 до 120°С в течение времени от 20 до 25 мин. Составитель Т.Денисенко Техред А.Кравчук Корректор Т. Палий ', Заказ 2098/ДСП Тираж 728 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, "Ж-35, Раушская наб., д. *i/5 ^ ^ Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101