Пристрій для вирощування монокристалів карбіду кремнію (алманітів)
Номер патенту: 52152
Опубліковано: 10.08.2010
Формула / Реферат
Пристрій для вирощування монокристалів карбіду кремнію (алманітів), що містить кристалізатор і затравку, причому кристалізатор виконано у вигляді циліндричної труби із графіту високої чистоти, в нижній частині якої розміщено тигель із кремнієм, зверху синтезатор щільно закритий кришкою, щоб запобігти виходу парів за межі синтезатора, зародки, на яких потім нарощують монокристали, які вирощують в глибокому вакуумі (10-5-10-6 мм рт. ст.), розміщені на п'єдесталах, які встановлені на внутрішній стороні касет, встановлених всередині синтезатора паралельно до його стінок, причому касети розміщені на тримачах, встановлених перпендикулярно до стінки синтезатора на внутрішній її стороні, який відрізняється тим, що додатково містить графітові пластини над отворами в кришці синтезатора, які мають можливість підніматись і опускатись, виконуючи роль клапанів.
Текст
Пристрій для вирощування монокристалів карбіду кремнію (алманітів), що містить кристалізатор і затравку, причому кристалізатор виконано у вигляді циліндричної труби із графіту високої чистоти, в нижній частині якої розміщено тигель із 3 52152 зверху синтезатор щільно закривають кришкою, для того щоб при нагрівання вихід парів із синтезатора був мінімальним. З метою вирощування кристалів алманіта без фона, а також для простого і легкого виймання кристалів із касет достатньо повернути касети навколо основи на 180 так, щоб зародки дивились у центр синтезатора (Фіг.). На Фіг. представлено пристрій для вирощування монокристалів алманіта без фону, де тигель - 1, розплав кремнію - 2, синтезатор - 3, тримач касет - 4, касета - 5, п'єдестал - 6, зародок - 7, кришка - 8, отвір у кришці - 9, клапани - 10. Технічна суть корисної моделі пояснюється фігурою графічного зображення де: На Фіг. представлено пристрій для вирощування монокристалів алманіта без фону, де тигель - 1, розплав кремнію - 2, синтезатор - 3, тримач Комп’ютерна верстка А. Крижанівський 4 касет - 4, касета - 5, п'єдестал - 6, зародок - 7, кришка - 8, отвір у кришці - 9, клапани - 10. Промислове застосування: Спосіб вирощування кристалів алманіту та пристрій для здійснення способу розроблені авторами на підприємстві НВО "РОСТОК" в м. Києві. Технічний результат - створено пристрій для вирощування монокристалів карбіду кремнію алманіту, досягнено керованого вирощування одночасно великої кількості (>1000шт.) монокристалів карбіду кремнію діаметром до 10мм і такої ж товщини, без фону, бажаного політилу та заданих якісних показників, створено пристрій для здійснення вказаного способу, в якому використовується одна робоча зона без перезавантажень, досягнуто високих показників по чистоті і якості монокристалів, значно підвищено швидкість росту кристалів та їх чистоту. Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601
ДивитисяДодаткова інформація
Назва патенту англійськоюDevice for growth of monocrystals of silicon carbide (almanites)
Автори англійськоюSerheev Oleh Tymofiiovych, Masol Ihor Vitalievych
Назва патенту російськоюУстройство для выращивания монокристаллов карбида кремния (алманитов)
Автори російськоюСергеев Олег Тимофеевич, Масол Игорь Витальевич
МПК / Мітки
МПК: C30B 35/00, C30B 23/00
Мітки: алманітів, кремнію, карбіду, монокристалів, вирощування, пристрій
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/2-52152-pristrijj-dlya-viroshhuvannya-monokristaliv-karbidu-kremniyu-almanitiv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Пристрій для вирощування монокристалів карбіду кремнію (алманітів)</a>
Пристрій для вирощування монокристалів карбіду кремнію алманіту
Номер патенту: 22256
Опубліковано: 25.04.2007
Автори: Янішин Ігор Борисович, Сергеєв Олег Тимофійович
МПК: C30B 23/02, C30B 35/00
Мітки: пристрій, карбіду, алманіту, кремнію, монокристалів, вирощування
Формула / Реферат:
Пристрій для вирощування монокристалів карбіду кремнію, що містить кристалізатор і затравку, який відрізняється тим, що кристалізатор виконано у вигляді циліндричної труби із графіту високої чистоти, в нижній частині якої розміщено тигель із кремнієм, зверху синтезатор щільно закритий кришкою, щоб запобігти виходу парів за межі синтезатора, зародки, на яких потім нарощують монокристали, які вирощують в глибокому вакуумі (10-5-10-6мм рт.ст.),...
Спосіб вирощування монокристалів карбіду кремнію алманіту
Номер патенту: 22255
Опубліковано: 25.04.2007
Автори: Сергеєв Олег Тимофійович, Янішин Ігор Борисович
МПК: C30B 23/02, C30B 35/00
Мітки: вирощування, карбіду, алманіту, монокристалів, спосіб, кремнію
Формула / Реферат:
Спосіб вирощування монокристалів карбіду кремнію, що включає вирощування монокристалів карбіду кремнію із кремнію і вуглецю, який відрізняється тим, що використовують особливо чистий кремній і вуглець (вміст домішок не більше 1х1016 см-3), причому кремній використовують у вигляді розплаву, нагрітого до температури випаровування (1750 °С), а вуглець - у вигляді графіту, з якого виготовлені всі деталі синтезатора, кришка синтезатора,...
Спосіб вирощування монокристалів карбіду кремнію алманіту
Номер патенту: 52151
Опубліковано: 10.08.2010
Автори: Масол Ігор Віталієвич, Сергеєв Олег Тимофійович
МПК: C30B 35/00, C30B 23/00
Мітки: монокристалів, карбіду, кремнію, вирощування, алманіту, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб вирощування монокристалів карбіду кремнію алманіту, який полягає у тому, що монокристали карбіду кремнію вирощують із кремнію і вуглецю, суть якого полягає у тому, що використовують особливо чистий кремній і вуглець (вміст домішок не більше 1x1016 см-3), причому кремній використовують у вигляді розплаву, нагрітого до температури випаровування (1750 °С), а вуглець - у вигляді графіту, з якого виготовлені всі деталі синтезатора, кришка...
Пристрій для вирощування полікристалічного карбіду кремнію
Номер патенту: 22257
Опубліковано: 25.04.2007
Автори: Сергеєв Олег Тимофійович, Янішин Ігор Борисович
МПК: C30B 35/00, C30B 23/02
Мітки: вирощування, карбіду, кремнію, пристрій, полікристалічного
Формула / Реферат:
Пристрій для вирощування полікристалічного карбіду кремнію, що складається із синтезатора, тигля, нагрівального елемента, який відрізняється тим, що синтезатор виконано у вигляді двох циліндрів однакової висоти, у нижній частині синтезатора розміщено тигель, в об’ємі синтезатора поміщені вертикально і горизонтально касети, зверху синтезатор закритий кришкою з отворами, причому синтезатор з тиглем, пластинами всередині і кришкою зверху...
Монокристали карбіду кремнію алманіт, спосіб їх вирощування та пристрій для здійснення способу
Номер патенту: 66318
Опубліковано: 15.04.2004
Автори: Сергеєв Олег Тимофійович, Гребенюк Богдан Олегович
МПК: C30B 35/00, C30B 23/02
Мітки: здійснення, способу, спосіб, вирощування, монокристали, карбіду, пристрій, алманіт, кремнію
Формула / Реферат:
1. Монокристали карбіду кремнію Алманіт, які відрізняється тим, що ці монокристали особливочистого карбіду кремнію містять домішки від 5х1015 до 5х1016 см-3, грань монокристалів біля основи має вигляд багатогранника, наприклад шестигранника, характерного для політипу 6Н, і багато дзеркальних граней, розташованих під різними кутами до осі росту кристалу, причому ці кути поступово збільшуються до 90°, а потім зменшуються, в результаті чого...