Патенти з міткою «ненагрівний»
Ненагрівний спосіб виготовлення омічного контакту до n+-кремнію
Номер патенту: 101023
Опубліковано: 25.08.2015
Автори: Кудрик Ярослав Ярославович, Болтовець Микола Силович, Виноградов Анатолій Олегович, Конакова Раїса Василівна, Бєляєв Олександр Євгенович, Коростинська Тамара Василівна, Атаубаєва Акумис Берисбаївна
МПК: H01L 21/314, H01L 21/268
Мітки: ненагрівний, виготовлення, спосіб, контакту, n+-кремнію, омічного
Формула / Реферат:
Ненагрівний спосіб виготовлення омічного контакту до n+-кремнію, який включає очищення поверхні пластини кремнію, напилення контактоутворюючого шару, зовнішнього контактного шару та мікрохвильову обробку контактної структури, який відрізняється тим, що попередньо підігрівають пластину n+-кремнію до 290-330 °C, як контактоутворюючий шар напилюють шар паладію товщиною 20-30 нм, а потім шар титану товщиною 50-55 нм і проводять ненагрівну...