Патенти з міткою «омічна»
Термостійка контактна омічна система до напівпровідникового приладу з алмазу
Номер патенту: 97274
Опубліковано: 10.03.2015
Автори: Веремійченко Георгій Микитович, Дуб Максим Миколайович, Конакова Раїса Василівна, Болтовець Микола Силович, Шеремет Володимир Миколайович, Ральчєнко Віктор Грігорьєвіч, Бєляєв Олександр Євгенович
МПК: H01L 23/52, H01L 29/40, H01L 23/48 ...
Мітки: омічна, контактна, напівпровідникового, приладу, термостійка, алмазу, система
Формула / Реферат:
1. Термостійка контактна омічна система до напівпровідникового приладу з алмазу, яка містить в собі контактний шар титану визначеної товщини, який нанесений на поверхню алмазу, бар'єрний антидифузійний шар з тугоплавкого матеріалу оптимальної товщини та контактуючий шар із золота, до якого приєднуються електричні виводи приладу, причому після термічної обробки утворюється проміжний шар карбіду титану, який забезпечує адгезію та низький...