Дуб Максим Миколайович
Термостійка контактна омічна система до напівпровідникового приладу з алмазу
Номер патенту: 97274
Опубліковано: 10.03.2015
Автори: Конакова Раїса Василівна, Веремійченко Георгій Микитович, Бєляєв Олександр Євгенович, Шеремет Володимир Миколайович, Дуб Максим Миколайович, Ральчєнко Віктор Грігорьєвіч, Болтовець Микола Силович
МПК: H01L 23/52, H01L 29/40, H01L 23/48 ...
Мітки: контактна, приладу, алмазу, омічна, термостійка, система, напівпровідникового
Формула / Реферат:
1. Термостійка контактна омічна система до напівпровідникового приладу з алмазу, яка містить в собі контактний шар титану визначеної товщини, який нанесений на поверхню алмазу, бар'єрний антидифузійний шар з тугоплавкого матеріалу оптимальної товщини та контактуючий шар із золота, до якого приєднуються електричні виводи приладу, причому після термічної обробки утворюється проміжний шар карбіду титану, який забезпечує адгезію та низький...