Луканюк Марія Василівна
Спосіб виготовлення оригіналу оптичної сигналограми
Номер патенту: 109582
Опубліковано: 10.09.2015
Автори: Данько Віктор Андрійович, Крючин Андрій Андрійович, Рубіш Василь Михайлович, Бородін Юрій Олександрович, Луканюк Марія Василівна, Гера Едуард Васильович, Петров В'ячеслав Васильович, Минько Віктор Іванович, Шепелявий Петро Євгенович, Індутний Іван Захарович
МПК: G11B 7/26
Мітки: спосіб, оригіналу, сигналограми, виготовлення, оптично
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення оригіналу оптичної сигналограми, що включає нанесення у вакуумі на дискову підкладку адгезійного шару і шару неорганічного фоторезисту на основі халькогенідного скла, його експонування модульованим гостросфокусованим лазерним пучком, і формування рельєфної структури шляхом селективного хімічного травлення фоторезисту, який відрізняється тим, що як неорганічний фоторезист на основі халькогенідного скла використовують шар...
Спосіб формування літографічних масок та рельєфно-фазових періодичних структур на шарах позитивних халькогенідних резистів
Номер патенту: 100965
Опубліковано: 25.08.2015
Автори: Індутний Іван Захарович, Минько Віктор Іванович, Шепелявий Петро Євгенович, Данько Віктор Андрійович, Луканюк Марія Василівна
МПК: G03F 1/56, G03G 5/10, G03F 7/26 ...
Мітки: халькогенідних, структур, шарах, формування, рельєфно-фазових, періодичних, резистів, літографічних, спосіб, позитивних, масок
Формула / Реферат:
1. Спосіб формування літографічних масок та рельєфно-фазових періодичних структур на шарах халькогенідних резистів, який включає нанесення на підкладинку шару резисту з неорганічної халькогенідної сполуки, відпал резисту протягом 1-3 годин при температурі від Tg-5 до Tg-15 °C, де Tg - температура розм'якшення даного халькогеніду, експонування резисту випромінюванням спектрального складу, що відповідає міжзонному поглинанню халькогеніду,...