Михащук Юрій Сергійович
Спосіб виготовлення епітаксійних шарів gaas методом газотранспортних реакцій
Номер патенту: 43134
Опубліковано: 10.08.2009
Автори: Круковський Семен Іванович, Михащук Юрій Сергійович, Ваків Микола Михайлович
МПК: H01L 27/14
Мітки: виготовлення, методом, реакцій, шарів, спосіб, епітаксійних, газотранспортних
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення епітаксійних шарів GaAs методом газотранспортних реакцій, що включає використання як джерела елемента третьої групи - галію, а як джерела арсену - трихлорид арсену з наступним відновленням його у високотемпературній зоні (780-850 °С) до арсену, та утворення тут хлориду галію, які, транспортуючись у низькотемпературну зону (730-750 °С), кристалізуються на підкладці у вигляді GaAs, який відрізняється тим, що галієве джерело...
Спосіб кристалізації лазерних гетероструктур ingaas/іn0,2al0,3ga0,5as, з квантовими точками inas/ingaas
Номер патенту: 41229
Опубліковано: 12.05.2009
Автори: Михащук Юрій Сергійович, Круковський Семен Іванович, Воронько Андрій Олександрович, Ларкін Сергій Юрійович, Голяка Роман Любомирович
МПК: H01L 21/28, H01L 21/00
Мітки: квантовими, точками, спосіб, гетероструктур, лазерних, кристалізації
Формула / Реферат:
Спосіб кристалізації лазерних гетероструктур InGaAs/Іn0,2Al0,3Ga0,5As, з квантовими точками InAs/InGaAs, що включає послідовне нарощування на підкладці GaAs метаморфного буфера InGaAs, p- та n-емітерів Іn0,2Al0,3Ga0,5As, який відрізняється тим, що формування квантових точок на поверхні епітаксійних шарів InGaAs (Іn0,2Al0,3Ga0,5As) здійснюється в присутності атомів гадолінію в кількостях від 5,0∙1010см-2 до 2,0∙1011см-2.
Графітова поршнева касета для отримання багатошарових структур
Номер патенту: 36791
Опубліковано: 10.11.2008
Автори: Ваків Микола Михайлович, Михащук Юрій Сергійович, Ніколаєнко Юрій Єгорович, Круковський Семен Іванович
МПК: H01L 21/208
Мітки: касета, поршнева, багатошарових, графітова, отримання, структур
Формула / Реферат:
Графітова поршнева касета для отримання багатошарових структур, що складається з корпусу, всередині якого знаходиться тримач підкладки з кришкою, в котрому виконано вхідний та зливний отвори, рухомого поршня, який щільно контактує зі стінкою тримача підкладки, зверху касета містить рухомий контейнер з комірками для розчинів-розплавів, а знизу розміщений зливний контейнер, яка відрізняється тим, що в нижній частині тримача підкладки виконано...