Графітова поршнева касета для отримання багатошарових структур

Графітова поршнева касета для отримання багатошарових стр уктур, що складається з корпусу, всередині якого знаходиться тримач підкладки 3 36791 4 розплавів касета разом з реактором обертається розплав виштовхується наступним, не залишаючи навколо своєї осі, і перший розчин-розплав подакраплин розплаву на робочій поверхні підкладки. ється на підкладку, яка закріплена у рухомій часОсновним недоліком прототипу є те, що при тині касети - слайдері. Після цього, у спеціально створенні з його допомогою квантоворозмірних виготовленому зазорі, на неробочому боці підклашарів та нанорозмірних об'єктів в багатошарових дки розміщують теплопоглинач, температура якого епітаксійних структурах складно здійснювати неє меншою від температури підкладки. Внаслідок обхідне короткочасне пересичення приповерхнецього підкладка охолоджувалась, а разом із нею і вого із підкладкою шару розплаву, оскільки консшар розчину-розплаву що безпосередньо з нею трукція касети не дозволяє створити короткочасне контактує. Із пересиченого таким способом тонкого переохолодження підкладки, внаслідок чого не шару розчину-розплаву відбувалась кристалізація можливо одержати якісні багатошарові структури з на поверхні підкладки. На наступному етапі оберквантоворозмірними шарами та нанорозмірними танням касети на 180° розчин-розплав зливається об'єктами. із підкладки, а вона переміщується в другу комірку В основу корисної моделі поставлена задача із розплавом і розміщується над ним. Другий розстворити таку удосконалену конструкцію графітоплав подається на підкладку обертанням касети вої поршневої касети для отримання багатошарона 180°. Після цього підкладка знову приводилась вих стр уктур, щоб вона дозволяла створювати в контакт з теплопоглиначем і на поверхні формукороткочасне переохолодження підкладки та була ється масив квантових точок. Розплав із поверхні придатною для створення якісних епітаксійних підкладки видаляється обертанням касети у звоструктур з квантоворозмірними шарами та нанороротному напрямку. Температура реактора знижузмірними об'єктами в активних шарах з викорисється до кімнатної. танням методу ІОНРР. Недоліком такої конструкції касети є формуПоставлена задача вирішується тим, що в повання при її застосуванні в технологічному циклі ршневій касеті для отримання багатошарових одержання багатошарових структур недосконалої структур, що складається з корпусу, всередині поверхні нарощуваних шарів, на якій, після зливу, якого знаходиться тримач підкладки з кришкою, в обов'язково залишаються краплини розчинукотрому виконано вхідний та зливний отвори, рурозплаву, із яких, після зниження температури хомого поршня, який щільно контактує зі стінкою кристалізуються мікроострівці епітаксійної плівки, тримача підкладки, зверху містить рухомий конщо суттєво погіршує якість активних наношарів у тейнер з комірками для розчинів-розплавів, а знивирощених стр уктурах. зу розміщений зливний контейнер, згідно корисній Найбільш близькою до запропонованої за сумоделі, в нижній частині тримача підкладки викокупністю ознак і технічному результату є графітова нано наскрізний прямокутний отвір, площа якого є касета поршневого типу, що дозволяє вирощува ти меншою від площі підкладки, зливний контейнер з обмеженого об'єму розчину-розплаву декілька містить дві камери, одна з яких є закритою, а друга шарів різного типу провідності в єдиному техноловідкритою, у передній стінці відкритої камери гічному процесі [див. рис.ІІ.6. на с.49 в книзі Корозроблено отвір, а у днищі відкритої камери зливнольков В.И., Рахимов Н. Диоды, транзисторы и тиго контейнера розміщений притискний гвинт, голористоры на основе гетероструктур. Ответственный вка якого виконана у формі півсфери. редактор Ж.И. Алферов. Ташкент: Фан, 1986г.], Суть технічного рішення, що пропонується, яку вибрано за прототип. Касета-прототип складаполягає в тому, конструкція касети дозволяє здійсється з корпусу, рухомого контейнеру з комірками нювати необхідне короткочасне пересичення придля розчинів-розплавів, рухомого поршня, тримача поверхневого із підкладкою шару розплаву за рапідкладки та закритого однокамерного зливного хунок короткочасного переохолодження підкладки контейнеру. Підкладка розташована у спеціальноза допомогою теплопоглинача. Доступ теплопому заглибленні тримача підкладки, в якому також глинача до неробочої поверхні підкладки забезпепередбачено два отвори, один для протискування чується через отвір відкритої камери зливного конпоршнем розчину-розплаву в щілину на поверхню тейнера, а щільний контакт теплопоглинача з підкладки, інший для витіснення попереднього неробочою поверхнею підкладки здійснюється за розплаву наступним у зливний контейнер. допомогою притискного гвинта, головка якого виВ такій касеті подача розчину-розплаву на підконана у формі півсфери для забезпечення мінікладку здійснюється його витисканням за допомомальної теплопередачі від корпусу касети до тепгою рухомого поршня в щілину між підкладками, лопоглинача. Положення голівки гвинта відносно яку можна змінювати в широких межах (від 100мкм підкладки, що визначає щільність контакту, може до 2мм). Заміна розчину-розплаву з поверхні підрегулюватися за допомогою різьбового з'єднання. кладок в цьому випадку здійснюється примусовим З другого боку, для забезпечення контакту тепловитисканням попереднього розчину-розплаву напоглинача з неробочою стороною підкладки та ступним за допомогою поршня. Максимальна кільподачі ростових розчинів-розплавів на її робочу кість епітаксійних шарів залежить від кількості поверхню конструкція тримача підкладки виконана отворів у рухомому контейнері. таким чином, що підкладка розміщується в нижній Конструкція пристрою-прототипу дозволяє отчастині тримача підкладки у спеціальному пазу, римувати багатошарові епітаксійні структури різнокрім того, в ньому передбачено вхідний та зливний го функціонального призначення. При цьому моротвори, а ростовий зазор розташований у нижній фологія шарів є досконалішою, в порівнянні з частині тримача підкладки, площа якого є меншою епітаксійними шарами, вирощеними у слайдерній від площі підкладки. Підкладка в робочому полокасеті, через те, що весь попередній розчинженні зафіксована зливним контейнером, який 5 36791 6 містить дві порожнини, одну закриту - для зливу забезпечення мінімальної теплопередачі від коррозплавів, а другу - відкриту з одного боку, для пусу касети до теплопоглинача, а його положення забезпечення доступу теплопоглинача до підкладвідносно підкладки 6, що визначає щільність конки. такту, може регулюватися за допомогою різьбовоЗа рахунок такого удосконалення графітової го з'єднання. Також в конструкцію касети входять поршневої касети стало можливим здійснювати дві допоміжні пластини 16 та 17, призначені для необхідне короткочасне пересичення приповерхутворення поршневої камери 18 та ущільнення невого із підкладкою шару розплаву, оскільки закритої камери 11, відповідно. конструкція касети дозволяє створити короткочасГрафітова поршнева касета для отримання не переохолодження підкладки, внаслідок чого багатошарових структур працює таким чином. Пеможна одержати якісні багатошарові структури з реміщенням рухомого контейнера 3 потрібний квантоворозмірними шарами та нанорозмірними розчин-розплав із комірки контейнера зливається у об'єктами в активних шарах з використанням мепоршневу камеру 18 через щілину 2 в корпусі 1 тоду ІОНРР. касети, де він відразу проштовхується поршнем 8 Конструкція та принцип дії запропонованої у вхідний отвір тримача 5 підкладки 6, і потрапляє графітової поршневої касети пояснюються кресу вузьку щілину між тримачем підкладки та його леннями. На Фіг.1 показано розріз графітової покришкою 7 на робочу поверхню підкладки 6 через ршневої касети для отримання багатошарових наскрізний прямокутний отвір 9 у тримачі. Далі, структур. На Фіг.2 показаний зовнішній вигляд зідля створення короткочасного пересичення розбраної касети з правого торця. Фіг.3 ілюструє триплаву, у відкриту камеру 12 зливного контейнера вимірне зображення розрізу поршневої касети, а 10, на неробочу поверхню підкладки 6 подається на Фіг.4 зображено тримач підкладки з кришкою та теплопоглинач, який щільно притискається до неї підкладкою. за допомогою притискного гвинта 15. Коли темпеГрафітова поршнева касета для отримання ратура теплопоглинача вирівнюється з температубагатошарових структур з нанорозмірними об'єкрою корпусу, теплопоглинач відводиться від підтами в активних шарах складається з корпусу 1, в кладки, і з наступним переміщенням рухомого якому передбачена щілина 2 для подачі розчинівконтейнера 3 подається наступний розчинрозплавів, які попередньо завантажуються у р ухорозплав, який через зливний отвір в тримачі 5 підмий контейнер 3 з комірками, закритий кришкою 4, кладки виштовхує попередній розчин-розплав у для уникнення зливу розплавів. Тримач 5 підкладзакриту камеру 11 зливного контейнера 10. ки 6 (див. Фіг.4) конструктивно виконаний так, що в Залежно відпотрібних розмірів квантоворозньому передбачено вхідний та зливний отвори. мірних шарів та нанорозмірних об'єктів описані Між тримачем 5 підкладки і кришкою 7 тримача технологічні операції створення короткочасного передбачена вузька щілина для продавлювання у пересичення розчину-розплаву повторюється денеї рухомим поршнем 8 розчину-розплаву на рокілька разів. Якісно сформовані нанорозмірні об'бочу поверхню підкладки 6, на яку він подається єкти зарощуються епітаксійним шаром із розчинучерез наскрізний прямокутний отвір 9 у нижній розплаву, пересиченого загальним зниженням частині тримача 5, площа якого є меншою від температури реактора. площі підкладки 6. Підкладка 6 в робочому полоТаким чином, запропонована конструкція граженні зафіксована за допомогою зливного контейфітової касети для отримання багатошарових нера 10, який містить дві камери (див. Фіг.1 та структур, у порівнянні із прототипом, є новою, Фіг.3): закриту камеру 11 для зливу використаних промислово-придатною, має винахідницький рірозплавів і відкриту камеру 12, у передній стінці вень і забезпечує отримання якісних багатошароякої зроблено отвір 13 для забезпечення доступу вих стр уктур з квантово-розмірними шарами та теплопоглинача 14 до неробочої поверхні підкладнанорозмірними об'єктами в активних шарах з вики 6. В днищі відкритої камери 12 зливного конкористанням методу імпульсного охолодження тейнера 10 розміщений притискний гвинт 15, голонасиченого розчину-розплаву. вка якого виконана у формі півсфери для 7 Комп’ютерна в ерстка В. Мацело 36791 8 Підписне Тираж 28 прим. Міністерство осв іт и і науки України Держав ний департамент інтелектуальної в ласності, вул. Урицького, 45, м. Київ , МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислов ої в ласності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601