Спосіб нанесення покриття

Спосіб нанесення покриття на внутрішню поверхню де талі, який включає формування джерела напилюваної речовини у вигляді дроту, розміщення його вздовж порожнини деталі, що обробляється, І нагрівання до температури випаровування речовини, який відрізняється тим, що один кінець дроту залишають вільним, а нагрівання напилюваної речовими здійснюють локально з торця вільного кінця дроту нагрівачем, який переміщують вздовж дроту зі швидкістю від 8,0 мм/с до 30,0 мм/с Винахід відноситься до області нанесення покрить у вакуумі і может бути використаний у технології виготовлення оптичних носіїв інформації. Найбільш близьким по технічній суті та результату, що досягається, є спосіб нанесення покриття у вакуумі на внутрішню поверхню деталі, що включає формування джерела напилюваної речовини у вигляді дроту, розміщення його вздовж порожнини деталі, що обробляється, і нагрівання до температури випаровування речовини [1]. Дріт нагрівають, пропуске.эчи через нього електричний струм, при цьому відбувається випаровування матеріалу дро ту і осідання його на внутрішню поверхню оброблюваної деталі. Основним недоліком відомого способу є нерівномірність товщини покриття, яка обумовлена неідентичністю умов випаровування як на різних ділянках дроту, так і в часі. Завданням винаходу є зменшення відхилень товщини покриття Поставлене завдання досягається таким чином, що спосіб нанесення покриття на внутрішню поверхню деталі, який включає формування джерела напилюваної речовини у вигляді дроту, розміщення його вздовж порожнини деталі, що обробляється, і нагрівання до температури випаровування речовини, відрізняється тим, що о дин к іне ць др о ту за ли ша ють ві льним , а нагрівання напилюваної речовини здійснюють локально з торця вільного кінця дроту нагрі вачем, який переміщують вздовж дроту зі швидкістю від 8,0 мм/с до 30,0 мм/с Дріт з напилювано го матеріалу 1 розміщають вздовж осі порожнини оброблюваної деталі 2 і за рахунок того, що нагрівання дроту здійснюють з боку його ВІЛЬНОГО кінця, весь матеріал напилюваної речовини випаровується та конденсуєть ся на стінк а х о бро блювано ї де та лі рівномірно Нагрівання дроту здійснюють за допомогою нагрівача 3, виготовленого у вигляді чаші з порожниною конусоподібної форми, установленого з можливістю переміщення вздовж осі дроту. Приклади здійснення способу Здійснюють нанесення покриття з сплаву системи Ge-As-Se -Te на вн утрі шню по вер хню скляної труби довжиною 100 мм І діаметром 14 мм Речовину, яку випаровують, формують у вигляді дроту шля хом витягування склоподібної маси при температурі розмякшення скла (7Ю°С) з подальшим охолодженням до кімнатної температури Оброблювану деталь закріплюють вертикально, а речовину, що випаровується, закріплюють одним кінцем у верхній частині вздовж порожнини деталі Нагрівам, виготовпений у вигляді чаші з порожниною конусоподібної форми із тантапу та оснащений резистивним елементом, установлюють з боку вільного кінця дроту. Оброблювану деталь, речовину, що випаровується, і нагрівач розміщують всередині вакуумної камери, яку по тім вак уум ують до 10~ 5 мм рт.ст. CM О CM со ю CM со 32532 Пропускаючи електричний струм через резистиений елемент, нагрівають танталову чашу до температури 750°С t після розплавлений торця дроту вводять в контакт з ним нагрівам, який потім переміщують вздовж осі дроту зі швидкістю, що забезпечує рівномірність випаровування вздовж порожнини оброблюваної деталі Про рівномірність умов випаровування на різних ета па х проце су судя ть по постійності форми і розмірів краплі розплаву, змочуючої нагрівач. На внутрішній повер хні оброблюваної де талі при цьому утворюється шар напилюваної речовини. Товщин у покриття визначають фотометрично В таблиці приведені результати нанесення покриття сплаву системи Ge-As~Se-Te при різних швидкостях переміщення нагрівача Швидкість переміщення нагрівача, мм/с Середнє значення товщини покриття, А Характеристика покриття 7 710 8 700 15 715 Покриття рівномірне Максимальне відхилення товщини покриття менше 10 А ЗО 710 Відхилення товщини покриття менше 10 А 32 700 Спостерігається локальне відшарування покриття від внутрішньої поверхні деталі Покриття нерівномірне внаслідок порушення контакту нагрівача з дротом Відхилення товщини покриття менше 10 А Як видно з таблиці, для одержання якісного рівномірного по товщині покриття необхідно нагрівам переміщати зі швидкістю від 8,0 мм/с до 30,0 мм/с Проведено також процеси нанесення покриття при діаметра х переріз у дро ту 25 мкм та 40 мкм Для таких то вщин дроту, як і для застосо ван ого в ви щепр иведен и х пр иклада х (ЗО мкм) рівномірність товщини покриття забезпечується при аналогічни х швидкостя х переміще ння на гр івача , тобто ві д 8 ,0 мм/с до 30 ,0 мм/с. При нанесенні аналогічного покриття по способу-прототипу товщина покриття на різних ділянках становила від 550 А до 800 А. Проведені нами експерименти показали, що спосіб, який заявляється, забезпечує отримання однорідного покриття внутрішньої поверхні оброблюваної' деталі Застосування запропонованого способу дає змогу в порівнянні з існуючими забезпечити створення умов отримання рівномірної товщини покриття і тим самим покращити його якість. Винахід може бути використаний в технології нанесення покрить для оптичного запису інформації. Тираж 50 екз. Відкрите акціонерне товариство «Патент» Україна, 88000, м Ужгород, вул Гагаріна, 101 (0 3 1 22 ) 3 - 7 2 -В9 (0 3 12 2 )2 -57 -0 3