Спосіб отримання нанорозмірних плівок ферит-гранату, що містить bі

Спосіб отримання нанорозмірних плівок ферит-гранату, що містить Ві, який включає виготов 3 гранату, розпилення компонентів мішені на підкладку, відпалювання отриманої плівки при температурі кристалізації ферит-гранату, згідно з корисною моделлю, підкладку з монокристалічного гадоліній-галієвого гранату обробляють пучком іонів аргону при прискорювальних напругах від 0,8 до 4,0 кВ і струмах від 10 до 160 мА, потім відпалюють отриману плівку на повітрі при атмосферному тиску. Отримані плівки мають задані характеристики залежно від величини прискорювальної напруги і струму іонного пучка. Спосіб реалізується таким чином. Виготовляють мішень з ферит-гранату, що містить Ві, підкладку гадоліній-галієвого гранату обробляють пучком аргону при різних прискорювальних напругах і струмах, потім напилюють на підкладку плівку, відпалюють на повітрі при атмосферному тиску. У таблиці 1 наведено режими обробки поверхні підкладки перед напиленням і магнітооптичні характеристики плівок. Підкладку обробляють пучком іонів аргону при прискорювальних напругах від 0,8 до 4 кВ і струмах іонного пучка від 10 до 160 мА. Зменшення прискорювальної напруги і струму пучка іонів не змінює параметри плівок, а збільшення приводить до виникнення радіаційних дефектів підкладки і параметри отримуваних ферит-гранатових плівок не відтворюються. Приклад реалізації способу. Нанорозмірні плівки ферит-гранату, що містить Ві, отримували на установці УРМ 3-279, 66219 4 оснащеній іонно-променевим джерелом «Холодок1», автоматичною системою напуску газів СНУ-2 і вакуумметром ВМТ-001, розпиленням мішені складу Bi2,8Y0,2Fe5O12 на холодну підкладку з монокристалічного гадоліній-галієвого гранату, оброблену перед напиленням пучком іонів аргону при різних прискорювальних напругах і струмах (табл.). Напилені на підкладку плівки відпалювали на повітрі при атмосферному тиску при температурі 650 °C протягом 15 хвилин. Магнітооптичні характеристики плівок визначалися з залежності кута фарадеївського обертання від напруженості магнітного поля (магнітооптичної петлі перемагнічування) на довжині хвилі 655 нм. Експериментальні результати з напилення нанорозмірних плівок ферит-гранату, що містить Ві, з використанням мішені складу Bi2,8Y0,2Fe5O12 на підкладку з гадоліній-галієвого гранату отримано при такому режимі розпилення мішені: -6 залишковий тиск в камері 5·10 ·тοр тиск аргону 5·10 4 тор 4 тиск кисню 0,5·10 ·тοр прискорювальна напруга 5,0 кВ струм іонного пучка 160 мА. Заявлений спосіб забезпечує можливість отримання нанорозмірних магнітооптичних феритгранатових плівок із заданими значеннями величини і знаку питомого фарадеївського обертання і магнітожорсткості. Таблиця Спосіб отримання нанорозмірних плівок ферит-гранату, що містить Ві Режим обробки поверхні підкладки Коефіцієнт прямоку- Питоме фараде№ зразТовщина тності петлі гістере- ївське обертанПрискорювальна на- Струм іонного пучка, ка плівки, нм зису ня, °/мкм пруга, кВ мА 1 0,8 10 10,6 0,05 -4,34 2 1,0 50 10,6 0,52 +1,36 3 1,0 80 10,6 1,00 +2,43 4 4,0 160 10,6 0,86 -5,72 Комп’ютерна верстка Д. Шеверун Підписне Тираж 23 прим. Державна служба інтелектуальної власності України, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601