Спосіб вирощування монокристалічних плівок ферит-гранатів методом рідинно-фазної епітаксії

Спосіб вирощування монокристалічних плівок ферит-гранатів методом рідинно-фазної епітаксії, 40028 в якості якого беруть суміш оксидів молібдену, вісмуту і свинцю в таких співвідношеннях (мол. %): МоО3 – 5,0-10,0; Bі2O3 – 32,5-10,0; PbO – 62,5-80,0, при цьому температура насичення розплаву становить 940-980°C i осаджують плівки. Приклад конкретного використання Вирощування плівок проводили по стандартній методиці шляхом вертикального занурення підкладок з ГГГ в гомогенізований розплав суміші феритоутворюючих оксидів та розчинника. В залежності від складу ферит-гранату змінювали склад розчинника. В таблиці наведені значення густини дефектів (мінімальні, середні, максимальні) для різних співвідношень компонентів розчинника. Основний тип дефектів це - краплі металу на поверхні та включення 2-ої фази в об'ємі плівок. В таблиці для порівняння приведені також дані по прототипу (9). Товщина вирощених плівок складала 1,0...1,2 мкм, діаметр циліндричних магнітних доменів 1,0 – 3,0 мкм. При отриманні МПФГ складу (Y Sm Ві Сa)3 (Fe Ge Sі)5О12 температура насичення розплаву Тр=980°С, вміст розчинника і густина дефектів відповідають пп. 5-8 таблиці. Для отримання МПФГ складу (Y Sm Ві Сa)3 (Fe Ge Sі)5О12 температура Тр=940°С, а вміст розчинника відповідає пп. 1, 3, 4, 8 таблиці. При отриманні МПФП складу (Yb Рг Gd Bі)3 (Fe Al)5О 12 температура Тр=955°С, а вміст розчинника відповідає пп. 1 і 2 таблиці. Як бачимо з таблиці, вміст оксидів в розчиннику (мол. %): МоО3 – 5,0-10,0; Bi 2O3 – 32,5-10,0; РоО – 62,5-80,0 та оптимізація температури насичення розплаву дозволяє покращити якість плівок за рахунок зменшення густини дефектів на 5-45%. Таблиця № п/п 1 2 3 4 5 6 7 8 9 Прототип РоО 62,5 59,4 65,0 65,0 72,0 80,0 80,0 64,0 59,35 Вміст оксидів розчинника, мол. % Bi2O3 МоО3 В2О3 31,0 6,5 32,5 8,1 25,0 10,0 30,0 5,0 20,0 8,0 12,0 8,0 10,0 10,0 31,0 5,0 32,52 8,13 Густина дефектів, см -2 мін. сер. макс. 1,10 1,43 1,70 1,11 1,43 1,74 1,05 1,40 1,50 1,06 1,41 1,60 1,02 1,25 1,38 1,08 1,39 1,62 1,06 1,35 1,60 1,06 1,35 1,60 1,12 1,46 __________________________________________________________ ДП "Український інститут промислової власності" (Укрпатент) Україна, 01133, Київ-133, бульв. Лесі Українки, 26 (044) 295-81-42, 295-61-97 __________________________________________________________ Підписано до друку ________ 2001 р. Формат 60х84 1/8. Обсяг ______ обл.-вид. арк. Тираж 50 прим. Зам._______ ____________________________________________________________ УкрІНТЕІ, 03680, Київ-39 МСП, вул. Горького, 180. (044) 268-25-22 ___________________________________________________________ 2 1,76