Антохін Ніколай Алєксандровіч
Суміш для хіміко-механічного полірування напівпровідникових матеріалів
Номер патенту: 3793
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Марченко Антоніна Володимирівна, Терень Марія Іванівна, Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Леховіцер Світлана Борисівна, Чуйко Олексій Олексійович, Раухман Алєксандр Марковіч, Піщіков Дмітрій Івановіч, Бескровна Ірина Іванівна, Кітін Дмітрій Вячеславовіч, Куса Світлана Давидівна, Антохін Ніколай Алєксандровіч, Губа Галина Яківна
МПК: C09G 1/00, H01L 21/302
Мітки: напівпровідникових, матеріалів, полірування, хіміко-механічного, суміш
Формула / Реферат:
Состав для химико-механического полирования полупроводниковых материалов, содержащий абразивный компонент, гидроксид натрия или калия, 30%-ный раствор перекиси водорода и воду, отличающийся тем, что в качестве абразивного компонента он содержит аминоэтоксиаэросил и дополнительно - глицерин при следующем соотношении компонентов, мас. %: , Аминоэтокси аэросил 6,0-8,0 Гидроксид натрия или...