Куса Світлана Давидівна
Суміш для хіміко-механічного полірування напівпровідникових матеріалів
Номер патенту: 3793
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Раухман Алєксандр Марковіч, Губа Галина Яківна, Терень Марія Іванівна, Куса Світлана Давидівна, Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Кітін Дмітрій Вячеславовіч, Бескровна Ірина Іванівна, Марченко Антоніна Володимирівна, Леховіцер Світлана Борисівна, Піщіков Дмітрій Івановіч, Антохін Ніколай Алєксандровіч, Чуйко Олексій Олексійович
МПК: C09G 1/00, H01L 21/302
Мітки: суміш, хіміко-механічного, полірування, матеріалів, напівпровідникових
Формула / Реферат:
Состав для химико-механического полирования полупроводниковых материалов, содержащий абразивный компонент, гидроксид натрия или калия, 30%-ный раствор перекиси водорода и воду, отличающийся тем, что в качестве абразивного компонента он содержит аминоэтоксиаэросил и дополнительно - глицерин при следующем соотношении компонентов, мас. %: , Аминоэтокси аэросил 6,0-8,0 Гидроксид натрия или...