Раухман Алєксандр Марковіч
Суміш для хіміко-механічного полірування напівпровідникових матеріалів
Номер патенту: 3793
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Марченко Антоніна Володимирівна, Губа Галина Яківна, Бескровна Ірина Іванівна, Раухман Алєксандр Марковіч, Чуйко Олексій Олексійович, Піщіков Дмітрій Івановіч, Антохін Ніколай Алєксандровіч, Леховіцер Світлана Борисівна, Куса Світлана Давидівна, Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Терень Марія Іванівна, Кітін Дмітрій Вячеславовіч
МПК: H01L 21/302, C09G 1/00
Мітки: полірування, матеріалів, суміш, напівпровідникових, хіміко-механічного
Формула / Реферат:
Состав для химико-механического полирования полупроводниковых материалов, содержащий абразивный компонент, гидроксид натрия или калия, 30%-ный раствор перекиси водорода и воду, отличающийся тем, что в качестве абразивного компонента он содержит аминоэтоксиаэросил и дополнительно - глицерин при следующем соотношении компонентов, мас. %: , Аминоэтокси аэросил 6,0-8,0 Гидроксид натрия или...