Марченко Антоніна Володимирівна
Суміш для хіміко-механічного полірування напівпровідникових матеріалів
Номер патенту: 3793
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Терень Марія Іванівна, Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Бескровна Ірина Іванівна, Антохін Ніколай Алєксандровіч, Кітін Дмітрій Вячеславовіч, Леховіцер Світлана Борисівна, Марченко Антоніна Володимирівна, Піщіков Дмітрій Івановіч, Куса Світлана Давидівна, Губа Галина Яківна, Чуйко Олексій Олексійович, Раухман Алєксандр Марковіч
МПК: C09G 1/00, H01L 21/302
Мітки: суміш, полірування, напівпровідникових, хіміко-механічного, матеріалів
Формула / Реферат:
Состав для химико-механического полирования полупроводниковых материалов, содержащий абразивный компонент, гидроксид натрия или калия, 30%-ный раствор перекиси водорода и воду, отличающийся тем, что в качестве абразивного компонента он содержит аминоэтоксиаэросил и дополнительно - глицерин при следующем соотношении компонентов, мас. %: , Аминоэтокси аэросил 6,0-8,0 Гидроксид натрия или...