Терень Марія Іванівна
Суміш для хіміко-механічного полірування напівпровідникових матеріалів
Номер патенту: 3793
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Кітін Дмітрій Вячеславовіч, Чуйко Олексій Олексійович, Раухман Алєксандр Марковіч, Антохін Ніколай Алєксандровіч, Бескровна Ірина Іванівна, Піщіков Дмітрій Івановіч, Леховіцер Світлана Борисівна, Марченко Антоніна Володимирівна, Терень Марія Іванівна, Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Куса Світлана Давидівна, Губа Галина Яківна
МПК: C09G 1/00, H01L 21/302
Мітки: суміш, хіміко-механічного, матеріалів, напівпровідникових, полірування
Формула / Реферат:
Состав для химико-механического полирования полупроводниковых материалов, содержащий абразивный компонент, гидроксид натрия или калия, 30%-ный раствор перекиси водорода и воду, отличающийся тем, что в качестве абразивного компонента он содержит аминоэтоксиаэросил и дополнительно - глицерин при следующем соотношении компонентов, мас. %: , Аминоэтокси аэросил 6,0-8,0 Гидроксид натрия или...