Бескровна Ірина Іванівна
Суміш для хіміко-механічного полірування напівпровідникових матеріалів
Номер патенту: 3793
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Марченко Антоніна Володимирівна, Губа Галина Яківна, Терень Марія Іванівна, Раухман Алєксандр Марковіч, Леховіцер Світлана Борисівна, Бескровна Ірина Іванівна, Куса Світлана Давидівна, Антохін Ніколай Алєксандровіч, Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Піщіков Дмітрій Івановіч, Кітін Дмітрій Вячеславовіч, Чуйко Олексій Олексійович
МПК: C09G 1/00, H01L 21/302
Мітки: матеріалів, напівпровідникових, хіміко-механічного, суміш, полірування
Формула / Реферат:
Состав для химико-механического полирования полупроводниковых материалов, содержащий абразивный компонент, гидроксид натрия или калия, 30%-ный раствор перекиси водорода и воду, отличающийся тем, что в качестве абразивного компонента он содержит аминоэтоксиаэросил и дополнительно - глицерин при следующем соотношении компонентов, мас. %: , Аминоэтокси аэросил 6,0-8,0 Гидроксид натрия или...