Кітін Дмітрій Вячеславовіч
Суміш для хіміко-механічного полірування напівпровідникових матеріалів
Номер патенту: 3793
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Бескровна Ірина Іванівна, Чуйко Олексій Олексійович, Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Раухман Алєксандр Марковіч, Піщіков Дмітрій Івановіч, Антохін Ніколай Алєксандровіч, Куса Світлана Давидівна, Кітін Дмітрій Вячеславовіч, Леховіцер Світлана Борисівна, Губа Галина Яківна, Марченко Антоніна Володимирівна, Терень Марія Іванівна
МПК: C09G 1/00, H01L 21/302
Мітки: полірування, хіміко-механічного, суміш, матеріалів, напівпровідникових
Формула / Реферат:
Состав для химико-механического полирования полупроводниковых материалов, содержащий абразивный компонент, гидроксид натрия или калия, 30%-ный раствор перекиси водорода и воду, отличающийся тем, что в качестве абразивного компонента он содержит аминоэтоксиаэросил и дополнительно - глицерин при следующем соотношении компонентов, мас. %: , Аминоэтокси аэросил 6,0-8,0 Гидроксид натрия или...